Источник заряженных частиц
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1568793
Авторы: Богатырев, Никитинский, Объедков, Стогний
Формула
ИСТОЧНИК ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ, содержащий полый катод с эмиссионным каналом в торце, анод и ускоряющий электрод, отличающийся тем, что, с целью упрощения системы электропитания, в него введена вспомогательная камера, охватывающая полый катод и оснащенная диском, расположенным в плоскости торца катода и образующим с катодом кольцевую щель, при этом площадь щели Sк < 10-2Sп, где Sп - площадь поверхности вспомогательной камеры.
Описание
Целью изобретения является упрощение системы электропитания.
На чертеже показан источник заряженных частиц.
Источник заряженных частиц содержит полый катод 1 из тугоплавкого материала. В нем выполнен капиллярный канал 2 длиной l. Катод 1 герметично закреплен на цилиндрическом держателе 3, в полости которого размещено активное вещество (LaB6). Катод 1 окружен вспомогательной камерой 4, образованной металлическим цилиндром 5, осесимметричным катоду 1 и держателю 3, и диском 6, образующим кольцевую щель 7 со стороны анода 8. Торец катода 1 находится на уровне внутренней поверхности диска 6, обращенного к аноду 8. Площадь Sп внутренней поверхности камеры 4 не менее чем на два порядка превосходит площадь Sк кольцевой щели 7. Электрическое питание разряда осуществляется источником питания.
Для получения ионов на анод 8 подается высокий положительный потенциал относительно извлекающего электрода 9, а для получения электронов - отрицательный. Полость катода соединена с системой подачи.
Источник заряженных частиц работает следующим образом.
При установлении расхода газа (аргона) на уровне 100 см3




При невыполнении условия Sк

Эксперименты с катодом диаметра 3 мм, имевшим диаметр канала 0,2 мм и высоту 2 мм, показали, что оптимальной является ширина щели 1 мм, а площадь внутренней поверхности камеры - более 15 см2.
Отсутствие в предлагаемом устройстве подогревателя исключает источник питания цепи канала катода, что упрощает схему.
Изобретение относится к газоразрядным технологическим установкам и может быть использовано для обработки материалов в вакууме. Целью изобретения является упрощение системы электропитания. Источник содержит полый катод 1 с эмиссионным каналом 2. Вспомагательная камера 4 содержит диск 6, образующий с катодом 1 кольцевую щель. Вспомогательный тлеющий разряд зажигают между анодом 8 и камерой 4. После разогрева этим разрядом катода 1 происходит переброс разряда на катод. 1 ил.
Рисунки
Заявка
4484772/25, 20.09.1988
Рубежанский филиал Днепропетровского химико технологического института им. Ф. Э. Дзержинского
Никитинский В. А, Объедков С. И, Стогний А. И, Богатырев О. А
МПК / Метки
МПК: H01J 27/00
Метки: заряженных, источник, частиц
Опубликовано: 27.03.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1568793-istochnik-zaryazhennykh-chastic.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Источник заряженных частиц</a>
Предыдущий патент: Измеритель лучистой энергии
Следующий патент: Сканирующая дифракционная система
Случайный патент: Способ подготовки эпителиальных клеток желудочно-кишечного тракта к исследованию