Генератор потока диссоциированных молекул

Номер патента: 1551163

Авторы: Балмашнов, Голованивский, Омельяновский, Поляков

Описание

1. Генератор потока диссоциированных молекул, содержащий систему формирования магнитного поля, кварцевую камеру, размещенную в резонаторе с двумя соосными отверстиями, через которые внутренняя полость камеры при помощи двух трубчатых отводов сообщается с системой напуска газа и системой откачки, отличающаяся тем, что, с целью повышения доли диссоциированных молекул в потоке газа, система формирования магнитного поля выполнена в виде постоянного магнита, торцы полюсов которого параллельны торцам резонатора и перпендикулярны оси камеры, и пусковых катушек намагничивания, охватывающих резонатор и соосных камере, а оси трубчатых отводов перпендикулярны оси камеры и расположены в ее центральной плоскости.
2. Генератор по п.1, отличающийся тем, что торцы полюсов постоянного магнита являются внутренними торцовыми поверхностями резонатора.

Заявка

4437393/25, 18.04.1988

Университет дружбы народов им. Патриса Лумумбы

Балмашнов А. А, Голованивский К. С, Омельяновский Э. М, Поляков А. Я

МПК / Метки

МПК: H01L 21/02

Метки: генератор, диссоциированных, молекул, потока

Опубликовано: 20.07.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1551163-generator-potoka-dissociirovannykh-molekul.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Генератор потока диссоциированных молекул</a>

Похожие патенты