Патенты с меткой «диссоциированных»
Генератор потока диссоциированных молекул
Номер патента: 1551163
Опубликовано: 20.07.1999
Авторы: Балмашнов, Голованивский, Омельяновский, Поляков
МПК: H01L 21/02
Метки: генератор, диссоциированных, молекул, потока
1. Генератор потока диссоциированных молекул, содержащий систему формирования магнитного поля, кварцевую камеру, размещенную в резонаторе с двумя соосными отверстиями, через которые внутренняя полость камеры при помощи двух трубчатых отводов сообщается с системой напуска газа и системой откачки, отличающаяся тем, что, с целью повышения доли диссоциированных молекул в потоке газа, система формирования магнитного поля выполнена в виде постоянного магнита, торцы полюсов которого параллельны торцам резонатора и перпендикулярны оси камеры, и пусковых катушек намагничивания, охватывающих резонатор и соосных камере, а оси трубчатых отводов перпендикулярны оси камеры и расположены в ее центральной...