Устройство для крепления подложек
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Заявка
4237749/21, 30.04.1987
Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР
Кантер Ю. О, Федоров А. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/68
Опубликовано: 10.11.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1530020-ustrojjstvo-dlya-krepleniya-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для крепления подложек</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления диодов шоттки
Следующий патент: Способ обработки поверхности полупроводниковых структур
Случайный патент: Установка для определения количества льда и незамерзшей воды