Способ получения слоев нитрида кремния
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1294220
Авторы: Жигалова, Могильников, Репинский
Описание
Заявка
3935271/25, 30.07.1985
Институт физики полупроводников СО АН СССР, Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР
Репинский С. М, Могильников К. П, Жигалова Е. Л
МПК / Метки
МПК: H01L 21/318
Метки: кремния, нитрида, слоев
Опубликовано: 20.11.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1294220-sposob-polucheniya-sloev-nitrida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения слоев нитрида кремния</a>
Предыдущий патент: Способ моделирования воздействия тяжелых ядер космических лучей на p-nпереходы полупроводниковых приборов
Следующий патент: Устройство для иглотерапии
Случайный патент: Продувочное устройство бурового станка