Способ получения слоев нитрида кремния

Номер патента: 1294220

Авторы: Жигалова, Могильников, Репинский

Описание

Способ получения слоев нитрида кремния, включающий размещение подложек в реакторе, их нагрев до рабочей температуры, формирование и подачу в зону осаждения потока парогазовой смеси тетрахлорида кремния и аммиака при пониженном давлении с поддержанием общего давления в реакторе подачей на вход реактора аммиака, удаление остаточных продуктов реакции через выход реактора, отличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости процесса по длине зоны осаждения и упрощения технологической аппаратуры, поток парогазовой смеси в зоне осаждения создают подачей аммиака на вход реактора при температуре от 623 К до рабочей температуры в зоне осаждения и раздельной подачей паров тетрахлорида кремния непосредственно в зону осаждения, а удаление остаточных продуктов реакции осуществляют их конденсацией при температуре 295 - 310 К за выходом реактора.

Заявка

3935271/25, 30.07.1985

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР

Репинский С. М, Могильников К. П, Жигалова Е. Л

МПК / Метки

МПК: H01L 21/318

Метки: кремния, нитрида, слоев

Опубликовано: 20.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1294220-sposob-polucheniya-sloev-nitrida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения слоев нитрида кремния</a>

Похожие патенты