Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей

Номер патента: 1279337

Авторы: Городецкий, Ларионов, Лукин, Мустафин, Рафиков

Описание

Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, светоделитель и образцовый оптический элемент, имеющий одну поверхность эталонную, другую - плоскую и установленный плоской поверхностью к источнику света, и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен пропускающей осевой голограммой, расположенной на плоской поверхности образующего элемента так, что ось голограммы проходит через центр кривизны эталонной поверхности, а распределение радиусов колец голограммы определено выражением

где ±m - больший (+) и меньший (-) радиусы m-го кольца голограммы (m = 0, 1, 2, 3, ...);
l - расстояние от источника света до центра голограммы;
n - показатель преломления материала образцового элемента;
R - величина радиуса кривизны эталонной поверхности;
t - толщина образцового элемента;
- длина световой волны;
Q - скважность структуры голограммы;
K - коэффициент, равный -1 для выпускной эталонной поверхности, +1 для вогнутой, 0 для плоской.

Заявка

3893990/28, 12.03.1985

Городецкий А. А, Ларионов Н. П, Лукин А. В, Мустафин К. С, Рафиков Р. А

МПК / Метки

МПК: G01B 11/24, G01B 9/021

Метки: интерферометр, оптических, поверхности, формы

Опубликовано: 27.06.2002

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1279337-interferometr-dlya-kontrolya-formy-poverkhnosti-opticheskikh-detalejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей</a>

Похожие патенты