Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1243397
Автор: Левченко
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ для вакуумного нанесения пленок, включающий формовку заготовки из материала мишени с последующим обжигом, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости параметров получаемых пленок, после обжига мишень обрабатывают током разряда плотностью 10-400 мА/см2 в течение 9-12 ч.
Описание
Целью изобретения является повышение воспроизводимости параметров получаемых пленок за счет стабилизации сегнетоэлектрического материала по всему объему мишени.
Обработка мишени током разряда плотностью менее 10 мА/см2 снижает производительность способа, а использование плотности тока разряда более 400 мА/см2 приводит, как правило, к пробою мишени.
При обработке мишени менее 9 ч изменения в ее объеме полностью не завершаются, что приводит к недостаточной воспроизводимости, а обработка более 12 ч нецелесообразна, так как дальнейших изменений в объеме мишени, повышающих воспроизводимость, не обнаружено.
П р и м е р. Проводилось изготовление мишеней из керамического титаната бария. Порошок титаната бария с предварительно добавленной связкой (раствор поливинилового спирта) формовали при давлении 49
106 Па. Отформованные заготовки обжигали при температуре однократного спекания керамики титаната бария 1673 К в течение 2 ч. Обожженные заготовки дробили прессом, а затем дальнейшее измельчение проводили в агатовой мельнице. Из полученного порошка повторно формовали заготовки мишеней размером 80.40.10 мм и обжигали при температуре 1533 К в течение 2 ч. Затем обожженные заготовки помещали в вакуумную камеру и, установив давление рабочего газа как при напылении 6,65 Па, обрабатывали объем мишеней разрядным током 1,5 А, превышающим ток при напылении. При этом плотность тока обработки заготовки не превышала 400 мП/см2. После обработки в течение 9-12 ч происходила стабилизация тока разряда, что свидетельствуют о готовности мишени.Мишени, изготовленные по предлагаемому способу, перед напылением каждой серии пленок необходимо подвергать предварительной традиционной "тренировке" (очистке распыляемой поверхности) при закрытой заслонке, также как и мишени, изготовленные известными способами.
Пленки, полученные при распылении током разряда 0,5 А в магнетронном ионно-плазменном устройстве с использованием мишеней, изготовленных по предлагаемому способу, имели в серии из 10 напылений
1630-1680, а tg 
= 0,03-0,035, т.е. разброс по составляет 
1,50, а по tg 7,7% Заявка
3666777/21, 28.11.1983
Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции
Левченко Г. Т
МПК / Метки
МПК: C23C 14/38
Метки: мишени, сегнетокерамической
Опубликовано: 27.12.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1243397-sposob-izgotovleniya-segnetokeramicheskojj-misheni.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления сегнетокерамической мишени</a>
Устройство для получения разряда постоянного тока
Номер патента: 968865
Опубликовано: 23.10.1982
Авторы: Мискинова, Савченко, Швилкин
МПК: H01J 17/00
Метки: постоянного, разряда
...Р соответствует стационарному состоянию столба (без страт) Соответствующие оценки для Йепри данных разрядных условиях: р = 11 мм рт,ст., К = 175 см, Ь == 34 см дают = Ол 7 т.е. обычныйкоэФФициент пространственного усиле-ния стратнаблюдаемых в.цилиндрической трубке радиуса Кравенл 0,2, так какф 2,ВТАБо (1 а 1Условия возбуждения страт могутзаметно изменяться при изменении радиуса трубки на минимальной длине,необходимой для развития страт, покрайней мере, на 304. Тогда можно по"лучить условие, определяющее минимальный коэФФициент изменения радиусатрубки вдоль оси 4 Действительно,закон изменения радиуса вдоль оси срасстоянием Ж от катода имеет вид:где Й - радиус трубки В - В, сМ.у катода.06 означина расстоянТогда К/Котношению:о Ч к 40...
Прибор для уничтожения вредителей зерновых продуктов и прочих сыпучих материалов искровыми разрядами электрических токов высокой частоты
Номер патента: 23688
Опубликовано: 31.10.1931
Автор: Патси
МПК: A01M 1/22
Метки: вредителей, высокой, зерновых, искровыми, прибор, продуктов, прочих, разрядами, сыпучих, токов, уничтожения, частоты, электрических
...в воронку и, подвергаясь в ееузкой части действию указанных электрических разрядов, освобождается от вредителейДля регулирования подачи продуктаслужит заслонка 5,Видоизменение прибора заключается вприменении воронки, плоский канал которой целиком выполнен из диэлектрика,В узкой части воронки на внутренних еестенках укреплены токопроводящие пластинки 2 - 2, количество и расположение которых может быть различно: или в шахматном порядке, или одна против другой (фиг. 2, 3), при чем в этом последнем случае посередине между ними имеются пластинки 3 - 3 (фиг. 3), монтированные в виде угольника. Пластинки соединяются с разноименными полюсами электрического источника тока.Во втором видоизменении (фиг. 4) в плоском канале конусной воронки...
Способ определения тока термоэлектронной эмиссии в дуговых разрядах переменного тока низкого давления
Номер патента: 705565
Опубликовано: 25.12.1979
МПК: H01J 61/00
Метки: давления, дуговых, низкого, переменного, разрядах, термоэлектронной, эмиссии
...тока, которое соответствуетвеличине тока термоэлектронной эмиссиипри нулевом поле.Предлагаемый способ позволяет значительно упрости-ь определение тока тер 2 омоэмиссии, и использовать его при оценке режимов работы катодов, разработкеновых конструкций и составов эмиссионных покрытий катодов газораэрядных25 3 705 устройства, на фиг, 2 - графическая иллюстрация способа.Устройство состоит из исследуемого газораэрядного источника 1, линзы 2, монохроматора 3, фотоэлектронного умножителя 4, двухлучевого осциллографа 5.Устройство работает следующим образом. Исследуемый газоразрядный источник 1 помешают перед линзой 2, зажигают разряд, спектр прикатодной области рйзряда проектируют через линзу на входную щель монохроматора 3, на...
Способ заряда накопительного конденсатора
Номер патента: 323853
Опубликовано: 01.01.1972
Автор: Алексан
МПК: H03K 3/57
Метки: заряда, конденсатора, накопительного
...из генератора 1 переменного тока с частотой , согласующего трансформатора 2, зарядных элементов 3, 4, в качестве которых могут быть использованы дроссели, конденсаторы, или резисторы, или их комбинация. выпрямителя 5, накопительного конденсатора б, разрядного устройства 7 и блока 8 управления разрядных импульсов, вырабатывающего инициирующие импульсы с частотой р,Схема импульсного источника питания работает следующим образом. Напряжение генератора 1 и накопителя б согласуется трансформатором 2 и через зарядные элементы т подается на вход трехфазного мостового выпрямителя 5, выход которого через зарядный элемент 4 соединен с накопительным конденсатором б. После заряда конденсатора б до заданноп величины блок 8 управления вырабатывает...
Способ количественного определения галогенов
Номер патента: 398868
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Богородский, Вител, Мороз
МПК: G01N 27/62
Метки: галогенов, количественного
...нагреванию в токе аммиака при температуре 700 - 800 С. Полученный при этом галогенид аммония определяют известными способами. Но этот способ отличается сложностью аппаратурного оформления, длительностью анализа, а также невозможностью анализировать вещества, взрывающиеся при температуре выше 700 С.С целью упрощения способа предлагают способ, заключающийся в том, что анализируемое вещество разлагают действием электрического разряда при комнатной температуре в токе аммиака, и выделившийся галогенид аммония определяют известными методами. П р и м е р. Навеску галогенсодержащего вещества в кварцевой лодочке помещают в кварцевый реактор с электродами; реактор вакуумируют (5 - 10 мм рт. ст.), пропускают через него аммиак (5 - 10...
Предыдущий патент: Способ разработки расчлененной нефтяной залежи
Следующий патент: Сегментный конический подшипник скольжения
Случайный патент: Способ получения синтетических дубителей