Способ изготовления быстродействующих мощных тиристоров

Номер патента: 1151148

Авторы: Асина, Кузнецов, Сурма

Описание

Способ изготовления быстродействующих мощных тиристоров, включающий облучение тиристорных структур, выполненных из бестигельного кремния, электронами с последующим термоотжигом, отличающийся тем, что, с целью оптимизации параметров тиристоров, облучение проводят дозой (4 - 10) 1014 см-2 и термоотжиг проводят при температуре 425 - 440oC в течение 2 - 3 ч.

Заявка

3679947/25, 28.10.1983

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Асина С. С, Сурма А. М, Кузнецов В. М

МПК / Метки

МПК: H01L 21/263

Метки: быстродействующих, мощных, тиристоров

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1151148-sposob-izgotovleniya-bystrodejjstvuyushhikh-moshhnykh-tiristorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления быстродействующих мощных тиристоров</a>

Похожие патенты