Способ изготовления образцов для использования структуры твердых тел

Номер патента: 1119535

Авторы: Астахов, Герасименко, Ивахнишин

Описание

Способ изготовления образцов для исследования структуры твердых тел, включающий формирование границ раздела между разными участками структуры и последующее утонение образца, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа изготовления образцов, перед утонением на поверхности исследуемого тела создают ряд выступов прямоугольного или трапецеидального поперечного сечения, на боковых гранях которых формируют границы раздела.

Заявка

3601915/25, 07.06.1983

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Астахов В. М, Ивахнишин В. М, Герасименко Н. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/302

Метки: использования, образцов, структуры, твердых, тел

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1119535-sposob-izgotovleniya-obrazcov-dlya-ispolzovaniya-struktury-tverdykh-tel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления образцов для использования структуры твердых тел</a>

Похожие патенты