Зынь

Номер патента: 316982

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Артамонов, Зынь

МПК: G01N 23/04

Метки: выявления, неоднородностей, поверхности, твердых, тел, электрических

...необратимое изменение поверхности твердого тела при облучении высокоэнергетичными электронами,предложенный способ выявления электрических неоднородностей на поверхности твердых тел предусматривает облучение исследуемой поверхности электронным пучком со средней энергией, близкой к порогу возбужденияадсороировацных аро вещества, образующего твердую пленку, Это исключаеч возможность повреждения поверхности электронным пучком.Данный способ электронного декорировании заключается в том, что исследуемую поверхность помещают в вакуум в присутствии малого количества паров выбранного заранее вещества и облучают электронным потоком при 110.роговой энергии. Образовавшийся геометрцчс.скцй рельеф изучают методами электронной илц оптической...