Ивахнишин
Способ изготовления образцов для использования структуры твердых тел
Номер патента: 1119535
Опубликовано: 10.11.1999
Авторы: Астахов, Герасименко, Ивахнишин
МПК: H01L 21/302
Метки: использования, образцов, структуры, твердых, тел
Способ изготовления образцов для исследования структуры твердых тел, включающий формирование границ раздела между разными участками структуры и последующее утонение образца, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа изготовления образцов, перед утонением на поверхности исследуемого тела создают ряд выступов прямоугольного или трапецеидального поперечного сечения, на боковых гранях которых формируют границы раздела.