Преображенцев

Номер патента: 320228

Опубликовано: 30.03.1984

Авторы: Астахов, Галаев, Горелик, Ермошин, Коровин, Круглов, Преображенцев, Самохвалов, Фронк

МПК: H01L 21/04

Метки: перехода, сплавно-диффузионного

...Наиболее полно этим требованиям отвечают 25 электродные металлы, электрически нейтральные, или электродные металлы, не изменяющие основных характеристик полупроводникового материала и образующие с ним простые эвтектиче- ЗО ские системы, например серебро, золОтО и ДРМежду слоями электродного металла- носителя располагают по крайней мере два слоя легирующей примеси, акцепторную, в качестве которой ис- пользуют, например, бор, алюминий, галлий, индий, и донорную - фосфор, мышьяк, сурьма, висмут.Концентрация легирующей примеси 4 О в расплаве, задающей обратный градиент в зависимости от конкретных параметров вольтфарадной характеристики, определяется интервалом 1 10 см - 10 см ., а примеси, об.4516 6 -3разующей Р -и-переход -...

Номер патента: 320227

Опубликовано: 30.03.1984

Авторы: Акимов, Галаев, Горелик, Горшенин, Гофман, Ермошин, Коровин, Наумов, Преображенцев, Фронк, Шварцман

МПК: H01L 21/24

Метки: контакта, сплавного

...сэлектродным металлом. Окисная пленка может восстанавливаться либо впроцессе напыления активного металла, если подложку нагревают до соот"ветствующей температуры, либо в процессе сплавления.Слой германия наносят при необходимости уменьшить глубину вплавленияф количество растворенного кремния в жидкой ванне уменьшится благодарягерманию,Слой коррозионно-стойкого металлапредохраняет восстановленные участкикремния и нанесенный активный металлот окисления при выгрузке образцовиз вакуумной камеры для последующего нанесения электродного металла.Кроме того, в случае использованиясистемы кремний-титан-никель-золото,никель также снижает температуруначала появления жидкой фазы вследствие образования низкоплавкой тройной эвтектики...

Номер патента: 243740

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Преображенцев, Шваров

МПК: H01L 21/40

Метки: контакта

...вник. В образующейся жидкои вплавляемый материал - пол ктура наносимых слоев мета сплавления не сохраняется,Для металлизации могут применяться металлы, обладающие большой свободной энергией образования окислов, например титан, ниобий, гафний, хром и другие, а в качестве второго слоя - никель, серебро и другие коррозионностойкие при повышенных температурах металлы, которые предохраняют первый слой от окисления.Пример. Пластины кремния перед нанесением титана промывают в дионизованной воде и обезжиривают в СС 1 Титан наносят при температуре подложки 500 - 800 0 С в вакууме 10 "мм рт. ст., а затем наносят пленку никлея, Общая толщина слоев меньше 1000 А,Перед сплавление кристаллы кремния обезжиривают, Электродный материал, например...