Способ получения контакта
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 243740
Авторы: Преображенцев, Шваров
Текст
Сова Советских Социалистических Республик. 21 д, 11/02 21 д, 32 аявле с присоединением заяв МПК Н 011 Н 01 с 1 УДК 621.3,066,6риоритет Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров СССРлетень17 но 14,7.1969,публик Дата опубликования описания 26.1 Х.19 Авторыизобретен А, Преображенцев и В аявите СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТА Изв талла ного и кие с слойн ранен следу родов естны способы полу с полупроводником ли нескольких метапособы используютсяых или многослойньнем структуры наноющего присоединени пайкой или термоко чения контакта мепутем нанесения одллических слоев. Тапри создании однох контактов с сохсимых слоев для поя выводных электмпрессией. С целью улучшения электрических и механических свойств контакта и для получения контакта с одновременным присоединением выводного электрода наносят металлические 1000 А при темтем вплавляют 2 емпературе эв - полупроводменее С, а за при т териал фазе состава роводник стру а в процессе В результате металлизации о верхности полупроводника част навливаются, окисная пленка ра сплавлением получают контакт м лупроводником. Фронт вплавления оказывается сплошным и равномерным.на ново сстается и аспо кисльичнозрушетал одным,3 д слои общеи толщиноипературе не ниже 400электродный материалтектики электродный вник. В образующейся жидкои вплавляемый материал - пол ктура наносимых слоев мета сплавления не сохраняется,Для металлизации могут применяться металлы, обладающие большой свободной энергией образования окислов, например титан, ниобий, гафний, хром и другие, а в качестве второго слоя - никель, серебро и другие коррозионностойкие при повышенных температурах металлы, которые предохраняют первый слой от окисления.Пример. Пластины кремния перед нанесением титана промывают в дионизованной воде и обезжиривают в СС 1 Титан наносят при температуре подложки 500 - 800 0 С в вакууме 10 "мм рт. ст., а затем наносят пленку никлея, Общая толщина слоев меньше 1000 А,Перед сплавление кристаллы кремния обезжиривают, Электродный материал, например золото, нанесенное на выводной электрод, и кристаллы загружают в кассету которая обеспечивает давление на систему кристалл - электродный материал не менее 1 г/мм 2. Сплавление проводят в вакууме не ниже 10-4 мм рт, ст. при температуре на кассете выше электрической температуры кремний - золото на 80 - 100 С.Полученный контакт обладает сложной конфигурацией, имеет высокую механическую прочность и малое электрическое сопротивление.243740 Редактор Вольпина Техред Л. 3. Левина Корректор Е. й. Миронова Заказ 2446/17 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр, Сапунова, 2 Применяя указанные технологические приемы, можно получить как невыпрямляющий, так и выпрямляющий контакты, если вместо золота выбрать другие электродные материалы. Предмет изобретенияСпособ получения контакта металла с полупроводником путем нанесения одного или нескольких металлических слоев, отличающийся тем, что, с целью улучшения механических и электрических свойств контакта, наносят слоиообшей толщиной менее 1000 А при температуре не ниже 400 оС, а затем проводят вплавление электродного материала при температуре не ниже температуры эвтектики электродный материал - полупроводник.
СмотретьЗаявка
1104256
К. А. Преображенцев, В. С. Шваров
МПК / Метки
МПК: H01L 21/40
Метки: контакта
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-243740-sposob-polucheniya-kontakta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения контакта</a>
Предыдущий патент: Пленочный полевой триод
Следующий патент: Анодно-сеточный узел газоразрядного вентиля
Случайный патент: Винтовой забойный двигатель