Рефлектометрический способ измерения шероховатости полированных поверхностей изделий

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОУСКРМУ СВ ИИЛЬСТВУ Союз Советскит Социалистически к Республик(51)М3 с присоединением заявки Й 6 01 В 11/30 Государстаениый комитет СССР по делам изобретений и открытий(088.8) Дата опубликования описания 300981(54) РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОЛИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ изделиИ1 О Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть,использовано для определения двух параметров шероховатости полированныхповерхностей изделий,Известен рефлектометрический снособ измерения шероховатости поверхности изделий, заключающийся в том,что освещают поверхность изделия,помещенного в фотометрический шар,под различными углами измеряют зеркально отраженный от поверхности изделия световой поток и по его величине судят об одном высотндм параметре шероховатости, Предварительно15производят градуировку по образцам,аттестованным по параметру шерохо.ватости другими методами 11 . Недостаток способа заключается в 20 том, что он позволяет получить ийформацию только об одном параметре шероховатости и требует градуировки прибора по предварительно аттесто" ванным образцам. 25Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ измерения шероховатости полированных поверхностей изделий заключающийся в том, что освещают поверх. 30 ность изделия монохроматическим излучением определенной длины волны Х,измеряют диффузно отраженный от поверхности иэделия световой потока 1измеряют общий отраженный от поверх-.ности изделия световой поток 1 о , ипо отношению этих световых потоковсудят о среднем квадратическом отклонении высот неровностей 21. Недостаток этого способа заключается в том, что определяется только один параметр шероховатости, характеризующий высоту микронеровностей, а параметр, определяющий средний шаг микронеровностей- определить невозможно, так как определяемое отношение зависит только от высотного параметра, что снижает точность измерения шероховатости.Цель изобретения - повышение точности измерения шероховатостиПоставленная цель достигается тем, что измеряют зеркально отраженный от поверхности изделия световой поток вместе с частью расположенного вокруг этого потока диффузно отраженного светового потока (1 + А 1 с 1)1, затем освещают поверхйость иэделия монохроматическим излучением другойдлины волны ), измеряют при этом зеркально отраженный от поверхности иэделия световой поток вместе с частью расположенного вокруг этогоПотока диффузно отраженного светового потока (13 + Д 1)7. и общий отраженный от поверхности изделия световой поток 1 О Л , по отношениям (1 Э + +д 1 )Л /1, и (1 + Ь)Л / ), судят о среднем квадратическом отклонении и об интервале корреляции высот неровностей.0СпоСоб может быть реализован с помощью серийно выпускаемых спектрофотометров с интегрирующей сферой типа СФи СФ.На чертеже представлена принципи альная схема спектрофотометра.Спектрофотометр содержит монохроматор 1 и интегрирующую схему 2, которая включает ловушку 3, заслонку 4, приемник 5 излучения и регистри рующее устройство 6.Способ осуществляется следующим образом.Контролируемое изделие 7 располагают в окне интегрирующей сферы 2, освещают поверхность изделия 7 с помощью монохроматора 1 монохроматическим излучением по крайней мере з двух длин волн )и ) . Установив заслонку 4 в окно интегрирующей сферы 2, измеряют с помощью приемника 6 излучения и регистрирующего устройства 6 общий спектральный коэффициент отражения )и Р). Установив вместо заслонки 4 ловушку 3, измеряют спектральный коэффициент диффузного от- З 5ражения л и Р 1, при этом в ловушку3 попадает зеркально отраженный световой поток и часть расположенноговокруг этого потока диффчзно отраженного светового потока ( 1+ д 1). Затем определяют отношенияЪРл-Рл (1+д 1 лд , . )16, л 4Рл 1 оллРдд д+ду д,4,где 5 - среднее квадратическое отклонение высот неровностей;В - интеграл корреляции высотнеровностей. 50Решают систему уравнений и определяют два параметра шероховатости (3 иФ.Измерения могут быть проведены при более чем двух длинах волн, что позволяет получить избыточную сиСтему уравнений и увеличить .точность определения параметров 6 и.Использование предлагаемого способа по сравнению сизвестными позволяет получать большую информацию о микрорельефе поверхности и приводит к увеличению точности измерения шероховатости,Формула изобретенияРефлектометрический способ измерения шероховатости полированных поверхностей иэделий, заключающийся в том, что освещают поверхность изделия монохроматическим излучением определенной длины волны А,(, измеряют диффузно отраженный от поверхности иэделия световой поток 1, измеряют общий отраженный от поверх/ ности изделия световой поток 1 О и по отношению этих световых потоков судят о среднем квадратическом отклонении высот неровностей,о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения шероховатости, измеряют зеркально отраженный от поверхности иэделия световой поток вмеоте с частью расположенного вокруг этого потока диффузно отраженного светового потока (1 + Ь)1, затем освещают поверхносРь иэделия монохроматическим излучением другой длины волны )., измеряют при этом зеркально отраженный от поверхности изделия световой поток вместе с частью расположенного вокруг этого потока диффузно отраженного светового потока (1 + Ь 1 и общий отраженный от поверхности изделия световой поток 1 ОЛ, по отношениям(1+д 1)л(10 и (1. + ь)з /1 ол судят о средйем квадратическом отклонении и об интервале корреляции высот неровностей.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. ЧазЫз 1 Б.К.Над Ьа)сгХзйпап Ч,С 1 авэ Ме 1 ег оог Яцгйасе ЕчапаЫоп. -1 пс 11 ап Епд 1 пеег 1 пд доцгпа 1, сер. МЕ,1975, ч. 55, с. 144-148.2. Авторское свидетельство СССРМ 654853,кл. С 01 В 11/30, 1977