Лубашевска

Номер патента: 421548

Опубликовано: 30.03.1974

Авторы: Андреев, Бобров, Валиев, Динабург, Кашаева, Лубашевска, Макаров, Никольский, Фирсов, Хорина

МПК: H01L 21/312

Метки: позитивный, фоторезист

...введение в состав позитив ного фоторезиста сенсибилизатора приводит к изменению его интегральной и спектральной светочувствительности одновременно с улучшением разрешающей способности фотослоя. Иц. тегральная светочувствительцость сенсцбили зированпого фоторезиста втрое выше чувствительности известных позитивных фоторсзистов. Спектральная чувствительность его имеет второй максимум, лежащий в более длинноволновой области спектра (450 - 500 нм). 30 Таким ооразом, повышение интегральной и спектральной фоточувствцтельцости позитивного фоторезцста, це исключая прежней сферы применения, даст возможность использовать его в проекционной фотолитографии в качестве фотослоя прц изготовлешш фотошаблонов с применением обычной оптики и...

Номер патента: 276734

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Глухова, Гурь, Динабург, Изо, Катаева, Лубашевска, Хорина

МПК: G03F 7/039

Метки: светочувствительных

...Тираж. 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изооретепий и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/Б Типография, пр. Сапунова, 2 2,5-сульфохлорида в 960 мл диоксана. Раствор нагревают до 40 С и при этой температуре в течение 2 час прикапывают 365 мл 10% -ного раствора бикарбоната натрия до устойчивой слаоощелочной реакции на бриллиантовую желтую бумагу. Затем массу выдерживают прн размешивании и температуре 40 С еще 1 час, По окончании выдержки содержимое колбы выливают в 1220 мл охлажденной дистиллированной воды и оставляют на ночь в холодильнике. Выпавший желтый продукт промывают водой и сушат. Получают 55,5 г порошка светло-желтого цвета, растворимого в диоксане.Найдено, %: С 61,40; Н 3,29; М 5,82; 5 6,65.7,5...