Хорина

Номер патента: 443234

Опубликовано: 15.09.1974

Авторы: Васильев, Прохоров, Хорина

МПК: F26B 25/12

Метки: пластин, полупроводниковых, термической

...общий вид; на фиг, 2 - разрез по А - А на фпг. 1.Устройство для термической обработки полупроводниковых пластин состоит из отража тельного экрана 1 с водоохлаждаемой рубашкой 2, в верхней части которого, над отражательным экраном 1, установлена горизонтальная плоская пластина 3 со шлифованной направляющей дорожкой (несущей плоско стью 4), выполненная из прозрачного термостойкого материала, например из кварцевого стекла, На несущей плоскости 4 выполнены сквозные наклонные отверстия 5, служащиедля прохода газа.20443234 11 Для проведения термической обработки изделий, например сушки фоторезистивных пленок на полупроводниковых пластинах, на источник 8 инфракрасного излучения подают напряжение питания, соответствующее требуемой...

Номер патента: 421548

Опубликовано: 30.03.1974

Авторы: Андреев, Бобров, Валиев, Динабург, Кашаева, Лубашевска, Макаров, Никольский, Фирсов, Хорина

МПК: H01L 21/312

Метки: позитивный, фоторезист

...введение в состав позитив ного фоторезиста сенсибилизатора приводит к изменению его интегральной и спектральной светочувствительности одновременно с улучшением разрешающей способности фотослоя. Иц. тегральная светочувствительцость сенсцбили зированпого фоторезиста втрое выше чувствительности известных позитивных фоторсзистов. Спектральная чувствительность его имеет второй максимум, лежащий в более длинноволновой области спектра (450 - 500 нм). 30 Таким ооразом, повышение интегральной и спектральной фоточувствцтельцости позитивного фоторезцста, це исключая прежней сферы применения, даст возможность использовать его в проекционной фотолитографии в качестве фотослоя прц изготовлешш фотошаблонов с применением обычной оптики и...

Номер патента: 276734

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Глухова, Гурь, Динабург, Изо, Катаева, Лубашевска, Хорина

МПК: G03F 7/039

Метки: светочувствительных

...Тираж. 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изооретепий и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/Б Типография, пр. Сапунова, 2 2,5-сульфохлорида в 960 мл диоксана. Раствор нагревают до 40 С и при этой температуре в течение 2 час прикапывают 365 мл 10% -ного раствора бикарбоната натрия до устойчивой слаоощелочной реакции на бриллиантовую желтую бумагу. Затем массу выдерживают прн размешивании и температуре 40 С еще 1 час, По окончании выдержки содержимое колбы выливают в 1220 мл охлажденной дистиллированной воды и оставляют на ночь в холодильнике. Выпавший желтый продукт промывают водой и сушат. Получают 55,5 г порошка светло-желтого цвета, растворимого в диоксане.Найдено, %: С 61,40; Н 3,29; М 5,82; 5 6,65.7,5...

Номер патента: 235775

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Сперанска, Таланов, Хорина

МПК: C01B 25/023, C05D 9/00

Метки: красного, фосфора

...ичаюи 1 ь:йсл продукта, приированного фосизацию ведут в или ик смеси с 0,01 - 5 о,о. Предмет изоорс полуц 1 сии 51 красного сй желтого фосфорс целью получения в качестве концент 1 удоорсни 51, полимср вии соединений мед 1 фором в коли 1 сствс 11 че Спосбмсризаштем, что, 0 годногофориогоприсутст фсррофо ланов, Г. В. Сперанская, Л Изобрсте шс относится к области получения красного фосфора, применяемого в качестве концснтпированного 1 росфорногодоорсния.Известен способ получения красного сросфора ио,1 имеризациси же:1 того фосфора.для получен ия продукта, пршодиого в качестве коицснгр;1 рованного фосфорного удоорсния, предлагас 1 ся полимеризацшо вести в присутствии соедииеш 1 и меди или ик смсгл 1 с среррофосфором в количестве О,О 1 о.11...