Лазина

Способ изготовления транзисторных структур с диэлектрической изоляцией

Загрузка...

Номер патента: 1702826

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Брюхно, Лазина, Шер

МПК: H01L 21/76

Метки: диэлектрической, изоляцией, структур, транзисторных

...пленку окисла и проводят осаждение поликристаллического кремния для формирования подложки. снижает напряжения пробоя сформированныхтранзисторных структур, а следователь- Одновременно с выполнением этих но, и выход годных структур. операций, которые осуществляются при температуре 1180-11200 С в течение 4 ч,Целью изобретения является повышение выхода годных структур по напряжению на них диэлектрического слоя, наращивание на него поликристаллической 15кремнйевой подложки, вскрытие монокристаллических карманов, формирование вмонокристаллических кремнйевых карманах транзисторных структур, Одновременно с высоколегированными слоями на 20исходной монокристаллической пластине(или до образования высоколегированныхскрытых слоев)...

Способ электрохимического осаждения родия

Загрузка...

Номер патента: 322410

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Лазина, Макарова, Филатов

МПК: C25D 3/50

Метки: осаждения, родия, электрохимического

...натрия еского осаждения ержащего соль рото, с целью улучи повышения сталектролит вводят металла и процесс тности тока 0,5 -чагоигийся тем, что 5 -Изобретение относится к области гальваническик покрытий, в частности, к электрокимическому осаждению родия,Известен способ электрокимического осаждения родня из электролита, содержащегосоль родия.Цель изобретения - улучшить качество покрытия и повысить стабильность раствора.Для этого в электролит вводят нитрат, нитрит щелочного металла и процесс ведут при 1018 - 80 С, плотности тока 0,5 - 4 а(дл.Электролит имеет следующий состав, г/л:Нитрат родня (на металл) 2 - 25Нитрат натрия 5 - 6Нитрит натрия 8 - 10В нагретый до 70 - 80 С раствор тре.;клористого родня осторожно небольшими...

Способ электролитического осаждения золота

Загрузка...

Номер патента: 322409

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Лазина, Макарова, Филатов

МПК: C25D 3/48

Метки: золота, осаждения, электролитического

...т2. Способ по п, 1, отличаюэлектролит содержит, г/л:Дицианаурат калия (наметалл)25 Лимонная кислотаМасляная кислота, мгг/лДициандиамидЕдкое кали до р ени ого осаждения жащего дицианату, едкое кали, елью улучшения лит вводят масд и процесс веока 0,1 - 5 а/дм.игиися тем, что 3 - 10 80 - 10 20 - 35 8 - 163,5 - 4 СПОСОБ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕ Изобретение относится к области гальвани. ческих покрытий.Известен способ электролитического осаждения золота из электролита, содержащего дицианаурат калия, лимонную кислоту, едкое кали.Отличие предложенного способа состоит в том, что с целью улучшения качества покрытия в электролит вводят масляную кислоту, дициандиамид и процесс ведут при 18 - 50 С, плотности тока 0,1 - 5 а/дм.Электролит содержит,...