H01J 37/305 — для литья, расплавления, испарения, гравировки или травления

Номер патента: 180473

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Атаманенко, Белевскии

МПК: H01J 37/305

Метки: испаритель, электроннолучевой

...пучок.электродный щелШтайгервальда. ам срезы, форное поле, фокупримепеп трех. ктор с оптикой едмет изобретен арцтел электр итно ь с мап онного ем, отл ецця пр ржит дв пюсцые мощце и исп чцогом уп елью ция, о спсте сютпучк ачало авленповыш оизвохсто- цако- срезы н сод му, п як с При напылении элементов микросхем часто возникает необходимость испарения нескольких разнородных металлов без нарушения вакуума. В этих случаях применяют поворотные многопозиционные тиглц.Для устранения перестановок тиглей ц связанного с этим усложнения испарителя предлагают переводить электронный пучок с одного тигля ца другой с помощью двухсторогней магнитной системы путем изменения направления тока в обмотке ее электромапшта. При этом, кроме...

Номер патента: 780079

Опубликовано: 15.11.1980

Авторы: Айзенштейн, Алферов, Бутковский, Емельянов, Ибрагимов, Кравченко, Хотин, Чубаров

МПК: H01J 37/305

Метки: температуры, установке, электронно-лучевой

...усредненный сигнал О(Фиг.1 в) рассогласования сравнивают с сигналом рассогласования и получают разностный сигнал аО (х) (Фиг.1 г) пропорционально которому Формируют сигнал Ф(х) (фиг,1 д) коррекции Фокусировкй электронного пучка, Получаемый сигнал коррекции Фокусировки алгебраически складывают с заданным сигналом У(х) (Фиг.1 е) Фокусировки электронного пучка и по результирующему суммарному сигналу Ф(х) (Фиг.1 ж) управляют Фокусировкой электронного пучка,Алгоритм изменения параметров заданного сигнала Фокусировки электронного пучка предварительно рассчитывают на ЭВМ. Основной, исходной,предпосылкой для расчета являетсяминимизация (при неизменной мОщноср ти электронного пучка) плотности .мощности тепловложения в пятне энергетического...

Номер патента: 837251

Опубликовано: 30.03.1982

Авторы: Бутковский, Емельянов, Кравченко, Чубаров

МПК: H01J 37/305

Метки: нагревом, электроннолучевым

...У и Уна электромагнчтные отклоняющие катушки 11, и через блок 15 задержки на блок 3 отклонения для развертки электрон 1 О 15 20 25 зо 35 4 О 45 5055 бО 65 ного пучка. На экране электронно-лучевой трубки 11 высвечивается движущееся пятно, траектория движения которого повторяет развертку электронного пучка на поверхности объекта. Блок 10 сканирования подает одновременно на координатные входы датчика 9 температуры и управляемого транспаранта 12 периодические сигналы Ь,.и Г (1), управляющие полокением пятна сканирования и ячейки памяти транспаранта, в которой происходит запись информации о температуре объекта, поступающей на информационный вход транспаранта 12 с выхода датчика 9, температуры. Запись информации в ячейке...

Номер патента: 1050011

Опубликовано: 23.10.1983

Авторы: Булачев, Гребещенко, Довбня, Закута, Пилипчик, Погосбекян

МПК: H01J 37/305

Метки: луча, стабилизации, установке, фокусировки, электронно-лучевой, электронного

...стабилизации Фокусировки электронного луча н электронно-лучевой установке, содержащее де-литель ускоряющего напряжения, блок упранлейия фокусировкой, соединенный с Фокусирующей катушкой, блок изнле ,чения корня четвертой степени из величины ускоряющего напряжения, вход Которого соединен с выходом делителя ускоряющего напряжения, до. полнительно введены блок извлечения 65 квадратного корня из величины тока луча, блок деления, первый вход которого соединен с выходом блока извлечения квадратного корня из величины тока луча, второй вход - с Выходом блока извлечения корня четвертой степени из величины ускоряющего напряжения, а выход - с входом блока управления ФокусировкойЗависимость размеров Фокального пятна от ускоряющего напряжения, тока...

Номер патента: 1112437

Опубликовано: 07.09.1984

Авторы: Григорьев, Лукьянов, Тарасенков

МПК: H01J 37/305

Метки: электронно-лучевая

...представлено несколько вариантов конструктивного испол нения этих полостей.Так, для защиты канала 13, указанные полости выполняются непосредственно в теле диафрагмы 7. В этом случае, необходимость в экране, как 15 в отдельной детали отпадает и его роль выполняет стенка диафрагмы 7. Важно лишь, чтобы полости располагались между областью прохождения электронного пучка и каналом 13 во дяного охлаждения.Наиболее просто выполнять их в виде ряда глухих отверстий, просверленных в диафрагме 7 ао стороны, противоположной катоду 1. После заполнения 25 полостей водой, они могут быть заглушены, например резьбовыми пробками 19. Пробки 19 имеют клапан, открывающийся при повышении давления внутри полости до 5-10 атм.30 Для защиты от повреждения...

Номер патента: 1609380

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Горелик, Чутко

МПК: H01J 37/305

Метки: ионной, поверхностей

...слоя материала распылен 2ного с поверхности вспомогательной мишени 5 за то же время , пропорциональна количестну И материала, распыленного с поверхности вспомогательной мишени 5609380 метр бины изде ци 5, коэ,где ет,пыле тель ной обр ниеруе рас тел риа обр вая Пос вер пыл или пре зем рас бат рас ГО ко мо с вы 83 пр ст ве 6 и эт то же время ирц постоянных пзрз"х ионного потока отношение глураспылецця 1, обрабатываемогоия 4 и И вспомогательной мишепропорпиоцзльно отношению ихциецтов распыления Б и Б,К( . - коэффициент пропорциональности.выражений (1), (2), (3) следуто количество матаризла М, раснного с поверхности вспомогацой мишени 5, связано с глубислоя распыленного с поверхности бзтываемого изделия 4, выражеатчик 6 системы контроля...

Номер патента: 1380527

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Трофимов, Чутко

МПК: H01J 37/305

Метки: оптических, поверхностей

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ИЗДЕЛИЙ, содержащее вакуумную камеру, ионный источник, блок питания, привод перемещения ионного источника, механизм крепления изделия, установленного с возможностью вращения, блок управления, выходы которого соединены с приводом вращения и приводом перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности обработки изделия, оно дополнительно снабжено неподвижной мишенью с расположенными на ее рабочей поверхности датчиками ионного тока, блоком контроля параметров ионного пучка, причем рабочая поверхность неподвижной мишени сопряжена с поверхностью обрабатываемого изделия, датчики соединены с входом блока контроля параметров ионного пучка, выход которого соединен с входом блока...