Белевскии

Номер патента: 180473

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Атаманенко, Белевскии

МПК: H01J 37/305

Метки: испаритель, электроннолучевой

...пучок.электродный щелШтайгервальда. ам срезы, форное поле, фокупримепеп трех. ктор с оптикой едмет изобретен арцтел электр итно ь с мап онного ем, отл ецця пр ржит дв пюсцые мощце и исп чцогом уп елью ция, о спсте сютпучк ачало авленповыш оизвохсто- цако- срезы н сод му, п як с При напылении элементов микросхем часто возникает необходимость испарения нескольких разнородных металлов без нарушения вакуума. В этих случаях применяют поворотные многопозиционные тиглц.Для устранения перестановок тиглей ц связанного с этим усложнения испарителя предлагают переводить электронный пучок с одного тигля ца другой с помощью двухсторогней магнитной системы путем изменения направления тока в обмотке ее электромапшта. При этом, кроме...