Электроннолучевой испаритель

Номер патента: 180473

Авторы: Атаманенко, Белевскии

ZIP архив

Текст

Сооз Созетскиз Социалистическиз Республикдиорит Комитет по делам зооретений и открытий при Совете Министров СССРубликовацо 21.111.19 юллстс ь М ата опубликования описангя 4 Л.1966 вторызобретеци В. Т. Атаманенко ц В елевски 5 Вите.Л ЕКТРОН НОЛУЧ ЕВОЙ ИСПАРИТЕЛ 2 обеим старо еляет магни В испарцтеле евой прохке системы имеют по ма которых опредспрующее пучок.электродный щелШтайгервальда. ам срезы, форное поле, фокупримепеп трех. ктор с оптикой едмет изобретен арцтел электр итно ь с мап онного ем, отл ецця пр ржит дв пюсцые мощце и исп чцогом уп елью ция, о спсте сютпучк ачало авленповыш оизвохсто- цако- срезы н сод му, п як с При напылении элементов микросхем часто возникает необходимость испарения нескольких разнородных металлов без нарушения вакуума. В этих случаях применяют поворотные многопозиционные тиглц.Для устранения перестановок тиглей ц связанного с этим усложнения испарителя предлагают переводить электронный пучок с одного тигля ца другой с помощью двухсторогней магнитной системы путем изменения направления тока в обмотке ее электромапшта. При этом, кроме переключения электронюго пучка из одного полояепия в другое, осуществляот одновременно поворот на 180 и стягивание ленточного пучка электронов.,Это происходит благодаря томм, что полюсцые наконечники Злектроннолучево то фокусировкой лецто и электростатическц(с.ч тем, что, с ц дцтельнлости цапыле роццюю мапштцую 1 печники которой и по обеим стороцам.

Смотреть

Заявка

925207

В. Т. Атаманенко, В. П. Белевскии

МПК / Метки

МПК: H01J 37/305

Метки: испаритель, электроннолучевой

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-180473-ehlektronnoluchevojj-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электроннолучевой испаритель</a>

Похожие патенты