Способ изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов

.С"-ОЮЭНт 1ПЯТг;. Ъщг СПИИЗОБРЕТЕН ИЯ Свез Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидетельстваМ. Кл 11 41/14 51 с 3/Об Заявлено 22.И 1.1971 ( 1683810/26 присоединением заявкиКомитет по делам изобретений и открыти при Совете Министров СССРПриоритет ДК 621.396.662.2(088.8 Опубликовано 20.111,1973, Бюллетень15Дата опубликования описания 28,Ч.1973 енкова и Н, И. Телеги арсанов, Т. Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МАГНИТНЫХ ИНДУКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВвторыобретения Р. Д. Нуралиева, А Изобретение относится к микроминиатюризации радиокомпонентовх а, именно к способу изготовления плоских высокочастотных и им-, пульсных трансформаторов, индуктивностей, дросселей и других магнитных элементов, пригодных для использования в интегральных схемах,Известны способы изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов, включающие нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводящих пленок на фольгу, например, методом вакуумного напыления с последующим изготовлением обмоток фотолитографией,Целью изобретения является сокращение веса, улучшенне удельных характеристик, повышение надежности, более эффективное использование рабочего объема при монтаяе плоских индуктивных элементов совместно с пленочными микросхемами, уменьшение трудоемкости и повышение точности их изготовления.Это достигается тем, что на фольге одновременно с двух сторон с помощью двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов выполняют рисунки: с одной стороны - полуобмоток, а с другой - диэлектрика, На сторону с рисунком диэлектрика наносят магнитную, диэлектрическую и сплошную металлическую пленки. Затем, совмещая ранее нанесенныи на фольгу рисунок первых половин обмоток с рисунком фотошаблона, состоящего из двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов обеих половин обмоток.получают рисунок второй половины обмоток на другой стороне заготовки, после чего осуществляют одновременное травление обеих ее сторон.Способ осуществляют следующим образом, 1 О На проводящую фольгу - нижний проводящий слой - одновременно с двух сторон методом фотолитографии наносят рисунок из фоторезиста, Для этого фольгу, покрытую фоторезистом с обеих сторон, вкладывают в карман, выполненный из двух фотошаблонов, совмещенных с большой точностью под микроскопом. Один из фотошаблонов имеет рисунок полуобмоток, а другой - рисунок изоляции, Далее фольгу экспонируют, выни мают из кармана и проявляют. Затем нафольгу со стороны, где фоторезист имеет рисунок изоляции, наносят следующие необходимые слои, например, методом вакуумного напыления.25 Фоторезист, имеющий рисунок изоляции,моькет при этом выполнять роль самой изоляции, поэтому фазу на него наносят через соответствующий трафарет многослойной магнитной пленки. Потом наносят изоляцию, 30 имеющую площадь большую, чем площадь374667 Составитель Е. Ковалева Техред Е, Борисова Корректор Е, Сапунова Редактор Л. Народная Заказ 1441/11 Изд370 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 указанной магнитной пленки, и верхний проводящий слой из такого же материала, что и материал фольги., полностью перекрывающий последний слой изоляции.В полученной заготовке одновременно из верхнего и нижнего замкнутых между собой проводяших слоев создают методом фотолитографии обмотки плоского индуктивного элемента. Для этого на многослойную заготовку наносят фоторезист со стороны верхнего проводящего слоя и вкладывают ее в другой карман, выполненный из двух совмещенных фотошаблонов, имеющих рисунки полуобмоток так, чтобы рисунок одного из них, такой же как и рисунок полуобмоток, уже имеющийся на фольге, совпал с последним, Получают рисунок полуобмоток на верхнем проводящем слое заготовки и выполняют травление сразу верхнего и нижнего проводящих слоев. В результате чего получают готовый плоский магнитный элемент (трансформатор, дроссель, индуктивность и т. д.), имеющий суммарную толщину в несколько десятков микрон и соответственно очень малый вес. Для изготовления плоских магнитных индуктивных элементов по предлагаемому способу не требуется специально разработанной оснастки. Элементы могут быть изготовлены на том же оборудовании, которое используется для производства интегральных схем, и смонтированы с последними в одном корпусе, занимая пустующий технологическийобъем. Предмет изобретения 5Способ изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов, включающий нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводящих пленок на фольгу, 10 например, методом вакуумного напыления споследующим изготовлением обмоток фотолитографией, отличающийся тем, что, с целью сокращения веса, повышения надежности, более эффективного использования 15 рабочего объема при монтаже плоских индуктивных элементов совместно с пленочными микросхемами, уменьшения трудоемкости и повышения точности их изготовления, на фольге одновременно с двух сторон с по мощью двух склеенных между собой по тремсторонам фотошаблонов выполняют с одной стороны рисунок полуобмоток, а с другой - рисунок диэлектрика, на который наносят магнитную, диэлектрическую и сплошную ме таллическую пленки, а затем, совмещая ранее нанесенный на фольгу рисунок первых половин обмоток с рисунком фотошаблона, состоящего из двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов обеих половин обмоток, ЗО получают рисунок второй половины обмотокна, другой сторонке заготовки, после чего осуществляют одновременное травление обеих ее сторон.