Тензометрический преобразователь

Номер патента: 1552019

Авторы: Гундырева, Марин, Семенов, Сивенков

ZIP архив

Текст

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения абсолютного,давления.Цель изобретения - повышение точ-,ности путем снижения температурнойпогрешности и времени готовности кработе,На фиг.1 представлена конструкциятензометрического преобразователя,вид сверху; на фиг.2 - то же, вид,сбоку.Тензометрический преобразовательсодержит чувствительный элемент ввиде мембраны 1, на которой методомтонкопленочной технологии сформирована измерительная схема с рабочимирезисторами 2, выполненными, например, из сплава Х 20 Н 75 Ю, компенсаци,онными резисторами 3 и балансировочными резисторами 4. Контактными пло,щадками 5, выполненными из золота,все резисторы 2 соединены в мостовуюизмерительную схему. Вокруг измерительной схемы нанесен кольцевой резистор 6, который выполнен из низкоомного геттерного материала, например циркония, и имеет: автономноенапряжение питания, развязанное снапряжениемпитания мостовой схемы,Измерительная схема и резистор 6 расположены в полости 7 герметичногокорпуса 8.Тензометрический преобразователь1 35работает следующим образом.Соответствующие напряжения питания подаются одновременно на мостовую измерительную схему и на резистор 6, включение которого сокращает 40время готовности преобразователя кработе за счет термостатирования чувствительного элемента. При воздействии на чувствительный элемент измеряемого давления мембрана 1 деформируется, изменяется сопротивление рабочих резисторов 2 и на выходе измерительной схемы появляется сигнал,соответствующий измеряемому давлению.При повышении температуры в процессеизмерения происходит нагрев чувствительного элемента и дополнительныйнагрев резистора 6. Увеличение давления в полости 7 при разогреве корпуса 8 компенсируется геттерным материалом резистора 6. Компенсация осуществляется за,счет адсорбции избытка молекул геттерным материалом приповышении температуры. Наибольшийэффект при этом достигается при расположении автономного кольцевого резистора на недеформируемой частимембраны. Формула изобретения1. Тензометрический преобразователь, содержащий герметичный корпус, чувствительный элемент в виде мембраны и металлопленочные рабочие, компенсационные и балансировочные резисторы, расположенные на рабочей части мембраны и соединенные в мостовую измерительную схему, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения точности путем снижения температурной погрешности и времени достижения готовности к работе, он снабжен автономным кольцевым резистором из ниэкоомного геттерного материала, расположенным вокруг измерительной схемы.2, Преобразователь по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что автономный кольцевой резистор расположен на недеформируемой части мембраны.

Смотреть

Заявка

4382398, 05.01.1988

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

СЕМЕНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, МАРИН ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ, ГУНДЫРЕВА ВЕРА ИВАНОВНА, СИВЕНКОВ НИКОЛАЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/04

Метки: тензометрический

Опубликовано: 23.03.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1552019-tenzometricheskijj-preobrazovatel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тензометрический преобразователь</a>

Похожие патенты