Едренов
Способ обработки кремниевых пластин
Номер патента: 1289294
Опубликовано: 20.06.1999
Авторы: Верходанов, Герасименко, Едренов, Мясников
МПК: H01L 21/268
Метки: кремниевых, пластин
Способ обработки кремниевых пластин, включающий обработку поверхности кремниевых пластин импульсом электромагнитного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности операции сглаживания краев пластин, обработку всей поверхности пластин проводят импульсом некогерентного излучения при длительности импульса от 1 до 250 мс и удельной мощности от 0,3 до 140 кВт/см2.