Установка для нанесения покрытий из газовой фазы

(22) Заявлено 23,01.81 (21) 3238993/22-02 (1) М.КЛ.з С 23 С 11/02 С 23 С 13/08 с присоединением заявки Нов. (23) Г)риоритет . -02,0179 Государственный комитет СССР ио делам изобретений н открытий.14(088.8) Опубликовано 230882, Бюллетень Мо 31 Дата опубликования описания 23,0882 А.Б,димант, А.Б.Куркин, Ф,А.Глускин, В.Я-;ИуРвин,Д,П,Воронин и В.Г.Хлапов(54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫИзобретение относится к устройствам для нанесения покрытий осаждением из газовой фазы..Известна установка для нанесенияпокрытий, содержащая рабочую камеру, камеру загрузки иэделий, поворотное транспортное устройство и корпус с промежуточной камерой для перемещения изделий, причем указанные камеры снабжены автономными системами откачки. Установка позволяет производить смену иэделий в камере нанесения покрытий без ее разгерметизации (1)Однако конструкция указанной установки не обеспечивает оптимальных условий при осаждении покрытий из газовой фазы,. Отсутствие шлюзовых устройств внутри промежуточной камеры ведет к ухудшению качества покрытия, так как детали, охлаждаемые в промежуточной камере, могут сопри-. касатъся с парами исходного соедине" ния и продуктами их разложения,Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемо му результату является установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру"металлизации с входным отверстием, загрузочно-разгруэочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации,систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой 2) .Однако такая установка при осаждении покрытий из газовой фазы не обеспечивает требуемого качества, поскольку изделия, транспортируемые взагрузочно-разгрузочную камеру, могут соприкасаться с парами исходногосоединения и продуктами их разложения,Целью изобретения является повышение качества покрытий.Поставленная цель достигается тем,что установка, содержащая камеру металлизации, загрузочно-разгрузочнуюкамеру с поворотным транспортероми толкателем для перемещения иэделийв камеру металлизации,систему откачки,соединенную с камерой металлиэации и разгрузочно-загрузочной камерой, снабжена заслонкой, установленноймежду камерой .металлизацни и загрузочно-разгрузочной камерой,инагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого выЗО полнена в виде заглушки для пере 95300355 крытия входного отверстия камеры металлизации.Такое конструктивное выполнение установки обеспечивает повышение качества покрытий, так как в мо-, мент металлизации заглушка на тор цовой части толкателя разобщает камеру металлиэации и загрузочноразгрузочную камеру. Пары исходного химического соединения при этом не проникают иэ камеры металлизации в 10 загрузочно-разгрузочную камеру и не попадают на изделия.Толкатель выполняет и функции держателя изделий,так . как вместо держателя иэделий в камере металлиэации толкатель снабжен 15 нагревателем, предназначенным для перемещения изделий. Нет необходимости иметь бункер для готовой продукции, потому что металлизированные изделия возвращаются в загрузочно-разгрузочную камеру. Кроме того, при опущенном толкателе камеру металлизации и эагрузочноразгрузочную камеру разобщает заслонка при выходе на режим, смене 25 деталей и т.п. При этом также предотвращается попадание паров исходного соединения и продуктов их распада на изделия.На чертеже показана принципиальная схема предлагаемой установки.Она содержит загрузочно-разгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая часть которого ныполнена в виде заглушки 4 с резистиннымнагревателем 5, предназначенным для перемещения изделия б, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлизации, помещенную в промежуточную камеру 10, причем камера 9 металлизации снабжена испа ряющим устройством 11. Промежуточная камера .10 соединена с шлюзовым устройством 7, установленным на верхней части камеры 1. Поворотный транспортер 2 предназначен для пере мещения кассет с изделиями б. Испаряющее устройство 11, входное.отверстие 12 камеры 9 металлизации,шлюзовое устройство 7 и толкатель 3 с заглушкой 4 расположены соосно и вер О тикально, причем заглушка 4 толкателя 3 н верхнем положении перекрывает входное отверстие 12 камеры 9 металлиэации. Камера 1 имеет люк 13 дляф загрузки и выгрузки изделий,. Установка работает следующим образом.Через люк 13 иэделия 6 загружают в кассеты транспортера 2. Затем люк13 закрывают и создают в загрузочно-разгрузочной камере 1 вакуум, . 6 О Одновременно при закрытой заслонке 8 шлюзового устройства 7 образуетсявакуум н камере 9 металлиэации, затем производят ее термостатирование до требуемой температуры. После этого 65 открывают заслонку 8 шлюзового устройства 7 и поднимают толкатель 3.Освобожденная заглушка 4 перемещается и в крайнем верхнем положенииупирается в нижний фланец камеры 9металлиэации, полностью перекрываяее входное отверстие 12, при этомобрабатываемое изделие б оказывается в камере 9 металлиэации взоне индукционного нагрена. В камеру подают пары исходного металлоорганического соединения (МОС),которые равномерно обтекают нагретую поверхность изделия б, разлагаются на этой поверхности иобразуют покрытия и летучие продукты разложения..,Через заданный промежуток времени прекращают выход паров из испаряющего устройства 11 в камеру 9 металлиэации. Затем толкатель 3 сзаглушкой 4 и размещенным на ней изделием б опускают н крайнее нижнееположение. При выходе заглушки 4 сизделием б заслонку 8 закрывают. Приопускании толкателя 3 иэделие б спокрытием выводится иэ зоны действия толкателя 3 и остывает в находящейся под вакуумом камере 1 приотсутствии паров МОС, а другое изделие без покрытия оказывается надтолкателем. После этого цикл повторяется,По окончании обрабстки всех иэделий закрывают заслонку 8 шлюзового устройства 7, производят разгерметизацию загрузочно-разгрузочнойкамеры 1 и выгрузку обработанныхизделий б и загрузку новых изделий.Использование изобретения позволяет повысить качество покрытий иобеспечить безопасность процесса.Формула изобретенияУстановка для нанесения покрытийиз газовой фазы, содержащая камеруметаллизации с входным отверстием,загрузочнб-разгрузочную камеру споворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлиэации, систему откачки,соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, о т л и ч а ю щ а я с я тем,что, с целью повышения качестна покрытий, она снабжена заслонкой,установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагренателем, установленнымна толкателе, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки дляперекрытия входного отверстия камерыметаллизации.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США Р 3915117,кл. 118-49, 1975,2. Патент СШЬ Р 3856654,кл. 204-298, 1971,953003 Составитель Л.БУрлиноРедактор А.Шишкина ТехредМ.Рейвес Демчик оррек Подпи Зак илиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная 21/45ВНИИПИпо113035 Тираж 1053 осударственного лам изобретений Москва, Ж, Р омитета СССР открытийушская наб., д. 4