Патенты с меткой «всесоьознаяnldslko-iolifieckafиблотекл»

Номер патента: 344034

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Алексеев, Антипов, Киселев

МПК: C23C 16/46

Метки: всесоьознаяnldslko-iolifieckafиблотекл

...поверхностью через трубки в заглушках.На чертеже приведена схема построения процесса по предлагаемому способу, например, для случая нанесения проводящего станнатного покрытия на поверхность диэлектрической трубки методом пиролиза, где- изделие, 2 - заглушки (соединены между собой), 3 - испаритель, 4 - подводящая трубка, 5 - отводящая трубка.Процесс нанесения проводящего покрытия 5 на внутреннюю поверхность изделия ведетсяв пределах ограниченного объема, Длина рабочего участка значительно меньше длины изделия. Источником газовой среды служит испаритель 8. Необходимый для процесса 10 формирования покрытия воздух подается через подводящую трубку 4, а образующийся поток паров отводится за пределы рабочего объема через отводящую...