C23C 16/34 — нитриды

Номер патента: 1067857

Опубликовано: 30.04.1993

Авторы: Абдуллин, Блошицын, Даутов, Матухнов, Миронов

МПК: C23C 16/34

...до обрабатываемой поверхности 50 мм, расход азота 1,8 10 кг/с, время обра ботки 600 с.Температура потока азотной плазмы составляла 1000 К, температура электронного газа 30000 К, скорость потока 700 мыс.При этом после обработки шероховатость поверхности уменьшилась с 0,62 до 0,24 мкм, а износостойкость увеличилась по сравнению с необработанным изделием в 8 раз и по сравнению с изделием, обработанным по известному способу (прототипу) в 6,7раз,Данные по обработке изделий извест 5 ным и предлагаемым способами приведенывтабл, 1 и 2.Температуру потока плазмы и поверхности обрабатываемых изделий определялихромель-алюмелевыми термопарами, тари 10 рованными по образцовому термометру, и всоответствии с табличными данными температуру...

Номер патента: 1040835

Опубликовано: 10.06.1999

Авторы: Глушков, Емяшев, Костиков, Новгородов, Панов, Секридова

МПК: B22F 3/24, C23C 16/34

Метки: инструменте, кремния, нитрида, покрытия, спеченных, сплавов, твердых

1. Способ получения покрытия из нитрида кремния на инструменте из спеченных твердых сплавов, включающий загрузку в печь, вакуумирование, нагрев до 1000 - 1100oС, подачу в печь азота и галоидного соединения, выдержку в присутствии кремнийсодержащего вещества и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, подачу азота осуществляют до давления 2,67 - 3,99 кПа, в качестве галоидного соединения применяют четыреххлористый углерод, а выдержку осуществляют в присутствии кристаллического кремния.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что кристаллический кремний загружают в печь перед ее вакуумированием.