C23C 14/36 — диодное распыление
Страница 2
Способ получения покрытий в вакууме
Номер патента: 908113
Опубликовано: 20.10.1996
Авторы: Кривонощенко, Селифанов, Точицкий
МПК: C23C 14/36
Способ получения покрытия в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями.