C23C 13/02 — C23C 13/02

Номер патента: 436895

Опубликовано: 25.07.1974

Авторы: Пусан, Сумароков, Тартаковская

МПК: C23C 13/02

Метки: кольцевого, магнитопровода

...к ее плоскости. К косоосно прикреплено кольцо ми пластинами 4 (разрез А - А). Посредством приводного механизма 5 токоировод приводится во вращение, а при помощи токосъемных щеток 6 к вращающемуся токопроводу 5 подводится ток.Крепежные пластины 7, крепежные стойки8 и фторопластовые втулки 9 обеспечивают системе вращения необходимую жесткость и соосность. Вал 10 через вакуумное уплотне ние выведен за пределы вакуумной камерык двигателю. Токосъемные щетки 6 закреплены на крепежных пластинах 7, съемные медные втулки 11 и 12 являются составной частью токопровода, Для смены подложек и 15 масок вывинчивают винт 13 и съемные втулки11, 12 удаляют.В процессе конденсации обычные цилиндрические тигли 14 с ферромагнитным и диэлектрическим...

Номер патента: 483460

Опубликовано: 05.09.1975

Авторы: Бочкарев, Павлов

МПК: C23C 13/02

Метки: испарителей, крепеления, ленточных

...со струбциной и изоляционными стержнями.Описываемое устройство изображено на фиг, 1 - 4.В пазу корпуса 1планки 2, соединеннПланки сжимаютсясмонтированы парал мы, образованные рычагами б, б и струбциной 7. Шарнир между рычагами 5 и струбцинами выполнен в виде изоляционного стержня 8, свободно вращающегося в рычаге б 5, и винтов 9, ввинченных в струбцину 7.Винты 9 служат для захвата испарителя 10 через стержни 8, Для присоединения к механизму натяжения служит штифт 11.В исходном положении испаритель нахо дится между контактными планками 2 и зажат винтами 4, Винтами 9 через изоляционные стержни 8 захвачены края испарителя.В этом положении на участке между планками 2 и стержнями 8 испаритель имеет волно образный изгиб.При разведении...

Номер патента: 508561

Опубликовано: 30.03.1976

Авторы: Горда, Кузнецов, Петровская, Шуров

МПК: C23C 13/02

Метки: карбида, тантала

...СН 4 1, ое покрытие с размером однородным ормула изобретения Способ получения карбида тантала осаждения на нагретой подложке из зовой смеси, содержащей хлорид, угле и инертный газ, отличающийся т с целью повышения однородности пол го продукта по составу и размеру зер О ложку нагревают до 1220 - 1380 С, а в парогазовой смеси дополнительно вво дород при следующем соотношении ко тов, об. %: ТаС 1; СН, путемпарогаводородем что ученноен, под- состав т во- оненть использотемпературу температурыт мелко мкм),е подложки может материал, имеющими" значительно выше В качеств ван любой плавления процесса.При указ кристаллич 2,5 - 11,0 1,0 - 7,0 2,5 - 26 стальное лучаю а 1 -нных условиях п ский (размер зер 2 Изобретение относится к технологии...

Номер патента: 211265

Опубликовано: 25.05.1976

Автор: Саксаганский

МПК: C23C 13/02

Метки: нанесения, пленок, тонких

...эффекта вает более совер сти под жки че 1 б нанесения многос ственно в процес тем самым качесложки, нразряда очищае есс недо еосущес ых напь б р е т ):рму Сгоссб нанес метал;тизации в н сти подто)с(, тем, чт эвысФЕт ле тования тонких акуум" с с отлча и л ен,с к и ., еисткой и:верх эр е вность оч истки подложки качество нано о поверхность смых поодло)кки у й. Д)агни опти озер.асс гллек тр ..и 1 т -лн,енер вым емых, напримнератором,подложки ных волн,нт м к 43) Опубликовано 25.045) Дата опубликова Известен способ нанесения тонких плек, в частности на диэлектрические мате, путем металлизации в вакууме с едварительной очисткой поверхности подапример, возбуждением тлеющегов непосредственной близости отмой поверхности. Однако этот простаточно...

Номер патента: 515832

Опубликовано: 30.05.1976

Авторы: Белов, Панфилова, Плышевский, Пономаренко

МПК: C23C 13/02

Метки: ленты, стальной

...в холодном чност особ с нС целью повышностного слоя предся от известного тена нее слоем подвжигу при 850 - 10ной атмосфере, затрекристаллизацион750 С с последующможно проводитьпри 150 - 250 С. 61) Дополнительное к22) Заявлено 11.02,74 (с присоединением23) Приоритетпубликовано 30.05.76. и поверх- отличаетанесенным иному отлц защит 0 - 60% ц ри 650 -Обжатие оянии илцз 2После отжига при 850 - 1000 С конденсатный слой переводится в диффузионный. Ко;щентрацця хрома па поверхности снижается до 40%. Бредя отжцга определяется толщиной папыленного слоя, химсоставом основы и температурой процесса. Отжиг увеличивает пластичность материала, однако более за 1 ете.: эффекг поз:шс:я пластичноец после обжатця на 40 - 50% и рекрцсталлцзаццонного...

Номер патента: 618452

Опубликовано: 05.08.1978

Авторы: Васильев, Добкин, Кандыба, Паршин, Селезнев, Харитонова, Шевакин

МПК: C23C 13/02

Метки: фольги

...нспаряемый из тигля 6 с помощьюлектроннолучевой пушки 7. На полученныйой фольги 8 наносят антиадгезионное вещест.о и т, д. Мехзнизм 9 ззгрузки алюминиевойпроволоки обеспечивает необходимый объемпаряемого металла. Трубопровод 10 соединяетамеру с вакуумной системой,Фольгу получают следующим образом. Вакуумной камере при остаточном давлениизов (1-2). 1 У мм рт. ст. предварительно Изобретение относится к технологии нане. всепия покрытий в вакууме.Известен способ получения фольги, включа- гющий нанесение на поверхность вращающегосябарабана слоя знтиздгезионного вещества, кон.денсацию паров металла на поверхности барабана,съем фольги и перемотку ее на другой барабзндля получения рулона 1.фольга, полученная известным...

Номер патента: 622871

Опубликовано: 05.09.1978

Авторы: Кандыба, Лайнер, Харитонова, Шевакин

МПК: C23C 13/02

Метки: алюминиевой, фольги

...кислоты приводит к насыщению поверхностных связейподложки,.понижая тем самым ее поверхностнуюэнергию. Одновременно слой адсорбированных подложкой молекул олеиновойкислоты экранирует поверхность подложки, исключая воэможность прямогоконтакта атомов наносимого металлас поверхностью подложки, что в итоге обуславливает незначительную прочность сцепления конденсата с подложкой еКоличество олеиновой кислоты выбирается минимальным, т.е. таким,чтобы, вО-первых, обеспечить в на"чальный момент конденсации алюминияслабую адгезию его к подложке и, вовторых, обеспечить ее испарение кконцу процесса беэ следов на поверхности алюминиевой Фольги.П р и и е-р. Полированную подложку, например иэ хромированной стало622 В 71 Формула изобретения Составитель...

Номер патента: 629247

Опубликовано: 25.10.1978

Авторы: Белов, Бурменко, Гирик, Пономаренко, Супрунчук, Тригуб

МПК: C23C 13/02

Метки: диффузионного, ленты, насыщения, стальной

...80150 град./с.Проведенные опыты показывают, чтоохлаждение ленты от температуры мегвллизвции до 400пределах 80-150629247 Составитель О, БогомоловРедактор Т. ЗагребельнаяТехред М, Борисова Корректор Л. Неболв Заказ 6020/26 Тираж 1177 Подписное 0 НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Рвущсквя нвб., д. 4/5филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 выделение карбидной фазы. по границам зерен.Способ осущесгвляюг следующим об.Стальная ленга непрерывно перемещается в вакуумной камере и проходит через зону мегаллизации. Нагрев феррохрома в метвллизвгоре осуществляют с помошь 0 графитовых электродов а нагрев проходящей стальной ленты - за1 О счет косвенного излучения ог...

Номер патента: 842110

Опубликовано: 30.06.1981

Авторы: Бай, Малинина, Панов, Педос, Прокопук, Шагина, Шевакин

МПК: C23C 13/02

Метки: диэлектрика, фольгиро-ванного

...шероховатой поверхности на фольге, верхний ролик которого 20 имеет рельефную поверхность и выполнен из стали, а нижний - из прессованной бумаги, нагреватель 5, прижимные ролики 6, раэмоточный гапсель7 диэлектрической подложки, намоточный гапсель 8 готового изделия, термостатированный барабан 9, выполненный с возможностью вращения,и несущую подложку 10,Устройство работает следующим роб разом.842110 Формула изобретения Составитель Л. БеспаловаБезродная ТехредМ.Рейвес КорректсрЛ.Гриценк едакт аказ 4 04 985/25 Тираж 1 ВНИИПИ Государственного па делам изобретений 035 Москва, Ж, РаушскаПодписнотета СССРкрытий4 ко иал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Испаряемый металл помещается виспаритель 2, где он испаряется иосаждается в...

Номер патента: 1019017

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Беккер, Кузнецов, Лященко, Мягконосов, Смирнова

МПК: C23C 13/02

Метки: маска, напыления, пленочных, свободная, элементов

...маски с подложкой при взаимодействии тонкого металлического слояиз Ферромагнитного материала, сФормированного на поверхности базовой пластины с внешним магнитйым полем.На фиг. 1 представлен Фрагмент свободной маски, Вид сверху, на Фиг, 2 " сечение А-А на Фиг, 1; на Фиг, 3 - базовая пластина, расположенная между тонкой, прозрачной для ультраФиолетового света лавсаиновои пленкой и защитной полиэтиле новой пленкой; на Фиг. ч - базовые пластины из СПФ, соединенные с тоннкои лавсановой пленкой и содержа 017 4щие сквозные прецизионные отверстия; на фиг, 5 - базовые пластилиныиз СПФ с нанесенным металлическимслоем; на Фиг. 6 - свободная маска,выполненная предложенным способом,содержащая базовую пластину из СПФ,металлический слой из...