Патенты с меткой «свободная»
Свободная маска для напыления пленочных элементов и способ ее изготовления
Номер патента: 1019017
Опубликовано: 23.05.1983
Авторы: Беккер, Кузнецов, Лященко, Мягконосов, Смирнова
МПК: C23C 13/02
Метки: маска, напыления, пленочных, свободная, элементов
...маски с подложкой при взаимодействии тонкого металлического слояиз Ферромагнитного материала, сФормированного на поверхности базовой пластины с внешним магнитйым полем.На фиг. 1 представлен Фрагмент свободной маски, Вид сверху, на Фиг, 2 " сечение А-А на Фиг, 1; на Фиг, 3 - базовая пластина, расположенная между тонкой, прозрачной для ультраФиолетового света лавсаиновои пленкой и защитной полиэтиле новой пленкой; на Фиг. ч - базовые пластины из СПФ, соединенные с тоннкои лавсановой пленкой и содержа 017 4щие сквозные прецизионные отверстия; на фиг, 5 - базовые пластилиныиз СПФ с нанесенным металлическимслоем; на Фиг. 6 - свободная маска,выполненная предложенным способом,содержащая базовую пластину из СПФ,металлический слой из...