Бермудес

Способ создания профилей ионной повреждаемости материалов

Загрузка...

Номер патента: 1758710

Опубликовано: 30.08.1992

Авторы: Бермудес, Скуратов, Сохацкий

МПК: G01N 1/32, H01L 21/265

Метки: ионной, повреждаемости, профилей, создания

...(выступов) глубиной (высотой) 1 с наклонными образующими поверхностями, облучают заряженными частицами с проек 5 10 15 20 25 30 35 40 тивным пробегом Ври в даином материале, затем электрол итически осаждают на облученную поверхность слой материала, близкий по химическим свойствам к материалу образца, толщиной Л, где Ли, и электролитически утоняют полученный образец с двух сторон до плоскости наблюдения, находящейся от первоначальной поверхности на глубине Врхи.Г 1 ри этом в электронном микроскопе исследуются проекции профиля повреждения на плоскость наблюдения вблизи наклонных поверхностей.Таким образом. если величины" К Л и глубины расположения плоскости наблюдения выбраны в указанных пределах, то в проекции профиля на плоскость...