B04B 5/00 — Прочие центрифуги
Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластину
Номер патента: 1210890
Опубликовано: 15.02.1986
Авторы: Востриков, Ларин, Лепетюха, Степанов, Федоров
МПК: B04B 5/00
Метки: нанесения, пластину, фоторезиста, центрифуга
...Э укладывают на оправку7 и годключают канчл 9 к вакуумнойсети Таким образом пластина 8 фикси.руется на опоавке 7, после чего рамка 12 с отражателем 15 поднимаетсяв верхнее положение,. включаетсяэлектродвигатель ч и производитсяподача проявителя сканированием,изфорсунки 16 на поверхность пластины8 с нанесенным йоторезистом, Сбрасываемые с поверхности обрабатываемойпластины 8 под действием центробежныхсил излишки проявителя отбрасываютсяотражателем 15 на периферийные участки сборника фоторезиста, вращающаяся пластина 8 увлекает частицы паровоздушной смеси, заполняющей объем сборника 1, приводя его в круговое движение, направленное по спирали внизк днищу сборника 1, где происходитвытяжка. По истечении...
Устройство для нанесения фоторезиста на пластины
Номер патента: 1242261
Опубликовано: 07.07.1986
Автор: Лившиц
МПК: B04B 5/00, B05C 11/02
Метки: нанесения, пластины, фоторезиста
...газа, а с другим - с эжектором, состоящим из втулок 1 О и 11, боковым отверстием 12 соединенным с полостью оправки 3. Канал 8 за эжектором заглушен заглу 1 пкой 13 и заполнен пористым фильтровальным материалом 14, причем гильза имеет боковые отверстия 15 для соединения с атмосферой. Устройство работает следующим образом,Пластину устанавливают на торец оправки 3. Через штуцер 9 по каналу 8 на эжектор подается сжатый газ. Пройдя через втулки 1 О и 11 эжектора и заполнитель (материал) 14, газ выходит через отверстия 15 в полость сборника 2 фоторезиста. При этом в полости 4 создается разрежение и пластина через отверстия 16 присасывается к оправке 3. Одновременно включается двигатель 6 через передачу 7, вращаюш,ий оправку 3, и на...
Ротор для разделения биологической жидкости
Номер патента: 1253669
Опубликовано: 30.08.1986
Авторы: Гаврилов, Корухов, Лотц, Писаревский, Тюрин, Цимаркина
МПК: B04B 5/00
Метки: биологической, жидкости, разделения, ротор
...с периферии расширенной части камеры 9 и пред- ЗО назначены для отвода тяжелой Фракции а каналы 12 начинаются с приближенной к центру части камеры 9 и предназначены для отвода легкой фракции (плазмы).35Дополнительная вставка 4, установленная под крышкой 2 с зазором внутри и соосно с основной вставкой 3, делит внутреннее пространство ротора на две камерьм верхнюю рабо чую 9 и дополнительную внутреннюю 13 (зазор между основной 3 и дополнительной 4 вставками, предназначенную для размещения сорбента,На внутренней поверхности допол" 45 нительной вставки 4 выполнены узкие ребра 14 жесткости, Камера 13 образована внутренней стенкой вставки 4 и наружной стенкой дополнительной вставки 3, состоящей нз полой стойки 5 О 15 и вкладыша 16,...
Центрифуга для разделения расплавов металлов
Номер патента: 1264986
Опубликовано: 23.10.1986
Авторы: Балобанов, Кершанский, Копач, Огнев
МПК: B04B 11/02, B04B 5/00
Метки: металлов, разделения, расплавов, центрифуга
...камеру 10,которая снабжена отводными каналами11 с переливами 12 для вывода тяжелой жидкой фракции, кольцевым разгрузочным порогом 13 и отводнымитрубками в виде выступающих в полостьотстойной камеры разгрузочных сопел14 для вывода легкой твердой Фрак- ции, равномерно расположенных.по еецилиндрической поверхности. Входные. отверстия разгрузочных сопел размещены от оси ротора на расстоянии,равном радиусу кольцевого разгрузочного порога. Уровни расположения переливов 12 отводных каналов и разгрузочных кольцевого порога 13 исопел 14 находятся на разных радиусах в зависимости от плотности разделяемых фракций расплава. В верхнейчасти ротора расположен кольцевойприемник 15 с каналами 16 для подвода расплава в отстойную камеру.Центрифуга...
Система очистки масел
Номер патента: 1409331
Опубликовано: 15.07.1988
Авторы: Ахмеджанов, Ухалкин
МПК: B04B 13/00, B04B 5/00
Метки: масел
...резервуар 1 нс р(литсЯ чср(л ГрубцнроОлы 36 и 37 ;3 МЕМ 6 раццЬИ Кцрц 6 КИ 20 И.гОТНОЛрд. РИ н)ышении загрязция часа изменялся (10 3 лотцост. Сес лц 3 д Г(.сьнО, измен яст 51 лалсн;е нд трубопно,(,37 и м(чорднную кр 00 кл О. с рл нсс 1 с 51 р 1 цвеси( консольной нружины 21. (И(1 дчинает про и;ться. 110 является сигнал рдл 6 длансд тен:(ор,(истсров 22, нрснцрпи ильный уцругцлл изгибу пружины 21. Сигнал цт тнзоре.3 сцрд 22 цолается чсрез усилитль 2;3, д здтсм регулруетс 51 СУ;31. 1(сл 3 сигнал иИс,оцустимой и)рчы лагрязнния часлд, л С 1;),Ь вклк)чдг с 3(1 слу с исткн чдслд В РНООТЛ . 11 РИ Э ГОЛ 1 К.К)д 151 В 3 К Л Ч Ы И насос 9 и 0 крь 13 тс 51 элкгрсмагнитный клдндн 6 сдсывдкше 0 груснровслд 3. 11 ол .ИСТИЧ Рс 3 ЗРСж(НИ 51, 0 ЗЛДс(Л...
Препаративная ультрацентрифуга
Номер патента: 1414467
Опубликовано: 07.08.1988
МПК: B04B 5/00, B04B 9/00
Метки: препаративная, ультрацентрифуга
...6 на подпятник демпфера7 при установке любого препаративного 45ротора.Подшипниковый узел 12 содержит дварадиально-упорных подшипника. Он служит опорой валав моменты установкии снятия сменного препаративного ротора Э, когда обороты валаравны0-3 Гц, а также при аварийных ситуациях,Демпферпредставляет собой гидравлическое устройство, обеспечивающее динамическую устойчивость системывал - препаративный ротор. Колебаниясистемы передаются демпферу 7 черезупругий стержень 6, который является единственной механической опорой системы при нращении ее с частотой, преньппающей 3 Гц. Упругий стержень 6 имеет геометрию, обеспечивающую необходимую связь системы с демпфером 7 и возможность самобалансировки ее. Пружина 15 постоянно поджимает демпфер 7...
Устройство для обезвоживания полимерных материалов
Номер патента: 1423169
Опубликовано: 15.09.1988
Авторы: Захаров, Неелов, Свидзинский, Сергиенко, Черников, Шинкаренко
МПК: B04B 5/00
Метки: обезвоживания, полимерных
...6 прикреплены к основанию 10корпуса 1 под углом 10 - 20. Площадьоснования лопастей 6 составляет 1/3 площа ди основания 10 корпуса 1,Боковая стенка 11 корпуса 1 в нижней; части выполнена перфорированной и имееткарман 12 для сбора и отвода жидкойфазы и влажного воздуха через патрубок 13,Верхняя часть поверхности корпуса 1 выполнена в виде улитки 14 с отводным патрубком 15, В крышке 16 корпуса 1 вы полнены отверстия для прохода воздуха,перекрытые жалюзи 17, регулирующими при ток сухого воздуха. Крыльчатка 4 и лопасти 6 приводятся во,вращение от приводовчерез клиноременные передачи 18 и 19.В предлагаемом устройстве выполняетсяусловие рубок 15 транспортируется в бункер-накопитель.Диск 7 с цилиндрической обечайкой 9, закрепленной на крыльчатке...
Устройство для обезвоживания полимерных материалов
Номер патента: 1442257
Опубликовано: 07.12.1988
МПК: B04B 5/00
Метки: обезвоживания, полимерных
...обезвоживания.На фиг. 1 схематично изображено устройство для обезвоживания полимерных материалов, поперечный разрез; на фиг. 2 - сечение А - А на фиг. 1.Устройство для обезвоживания полимерных материалов содержит корпус 1 с крышкой 2, в котором неподвижно установлена перфорированная обечайка 3. Внутри обечайки 3 расположен ротор, состоящий из верхнего 4 и нижнего 5 дисков и лопастей 6. Ротор смонтирован на приводном валу 7, установленном в подшипниках 8. Обечайка 3 и ротор выполнены ступенчатыми, причем диаметр каждой следующей 20 ступени ротора и обечайки 3 в направлении перемещения материала превышает диаметр предыдущей ступени. Корпус имеет патрубок 9 подачи материала, патрубок 10 отвода жидкости и патрубок 11 отвода материала....
Центрифуга
Номер патента: 1600843
Опубликовано: 23.10.1990
Автор: Мартынов
МПК: B04B 13/00, B04B 5/00
Метки: центрифуга
...превышения допустимойвибрации гибкого вала, содержащий дба электрических контакта 7 и 8, установленные через электроизолирующйе прокладки 9 и 10 стакана 4 и кбрпуса 5 упругой опоры с возможностью их относительного перемещения для регулирования начального зазора между ними, например, при помощи вала 11, гайки 12 и пружины 13.Центрифуга работает следующим образом.Предварительно с помощью щупа выставляется начальный зазор между контактами 7 и 8 эа счет вращения гайки 12, Добившись необходимой величины начального зазора между контактами 7 и 8, которая должна быть равна предельно допустимой амплитуде вибрации гибкого вала 2, фиксируют положение гайки 12 любым известным способом. В случае возникновения в процессе работы центрифуги по...
Центрифуга для очистки стерильной жидкости
Номер патента: 1622016
Опубликовано: 23.01.1991
МПК: B04B 11/02, B04B 5/00
Метки: жидкости, стерильной, центрифуга
...воздушного затвора. Внутри стакана имеется перегородка 15, которая делит полость стакана на две части: верхнюю для сбора очищенной жидкости, отбрасываемой из вращающ 8 йся горловины, и нижнюю для формирования ламинарного потока газа. Очищенная жидкость вытекает через эластичную трубку 16, Канал 17 предназначен для удаления случайно скапливающейся жидкости внизу стакана. На наружной поверхности днища имеется паз. в который запрессована прокладка 18 для герметичного соединения затвора с ротором при стерилизации (фиг, 2). Прижатие затвора к ротору на период их стерилизации осуществляют с помощью болтов - захватов 19,Детали центрифуги для точного совмещения при сборке имеют направляющие проточки, что обеспечивает равномерность воздушных...
Устройство для нанесения фоторезиста на пластины
Номер патента: 1632286
Опубликовано: 15.02.1994
Авторы: Абрамов, Сергеев, Сергеева
МПК: B04B 5/00, H01L 21/312
Метки: нанесения, пластины, фоторезиста
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ПЛАСТИНЫ, содержащее установленную на валу центрифуги оправку для размещения пластины с радиальными каналами для создания разрежения под пластиной, отличающееся тем, что, с целью улучщения эксплуатационных возможностей и упрощения конструкции, в оправке выполнено гнездо для размещения обрабатываемой пластины, а радиальные каналы выполнены в виде открытых пазов на рабочей поверхности оправки, причем донные поверхности гнезда и пазов расположены в одной плоскости, а на дне каждого из пазов выполнены продольные риски, проходящие через дно гнезда.
Способ нанесения тонких пленок
Номер патента: 751256
Опубликовано: 27.01.1996
Авторы: Чуйко, Якубинская
МПК: B04B 5/00, H01L 21/00
Метки: нанесения, пленок, тонких
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, например пленок фоторезиста на подложки, включающий нанесение на подложку раствора фоторезиста, центрифугирование подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества нанесения на подложку раствора фоторезиста, край стороны подложки, на которую наносят раствор, скругляют по всему периметру.
Центрифуга для разделения расплавов металлов
Номер патента: 813859
Опубликовано: 27.07.1999
Авторы: Балобанов, Кершанский, Ланчаков, Огнев
МПК: B04B 5/00
Метки: металлов, разделения, расплавов, центрифуга
Центрифуга для разделения расплавов металлов, содержащая корпус с теплоизоляционным покрытием, имеющий приемники для разделенных фракций, установленный в корпусе на валу ротор и питающее устройство, отличающаяся тем, что, с целью улучшения качества разделения, ротор выполнен в виде усеченного конуса, обращенного большим основанием вверх, и имеет на внутренней поверхности ступенчато расположенные по его высоте переливные пороги, образующие отстойные камеры, при этом на периферии каждой камеры в стенке ротора выполнены каналы для отвода тяжелой фракции, причем ширина каждого вышерасположенного порога превышает ширину нижерасположенного.
Центрифуга для разделения расплавов металлов
Номер патента: 1102127
Опубликовано: 27.07.1999
Авторы: Балобанов, Кершанский, Копач, Огнев
МПК: B04B 5/00
Метки: металлов, разделения, расплавов, центрифуга
1. Центрифуга для разделения расплавов металлов, содержащая теплоизолированный и обогреваемый корпус, питающее устройство, приемники для разделенных фракций и установленный на валу ротор в виде усеченного конуса, имеющий ступенчато расположенные на его внутренней поверхности кольцевые отстойные камеры с переливными порогами и отводными каналами, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности, над отстойными камерами ротора расположены кольцевые приемники разделяемого материала, сообщенные с указанными камерами каналами, выполненными в сливных порогах перед отводными каналами, при этом ротор расположен большим основанием вниз.2. Центрифуга по п.1, отличающаяся тем, что...