Патенты с меткой «sic-si»
Способ изготовления гетероперехода sic-si
Номер патента: 463398
Опубликовано: 20.05.2000
Авторы: Герасименко, Кузнецов, Лежейко, Любопытова, Смирнов
МПК: H01L 21/265
Метки: sic-si, гетероперехода
Способ изготовления гетероперехода SiC-Si путем внедрения ионов углерода энергией несколько десятков килоэлектронвольт в кристалл кремния и последующего отжига, отличающийся тем, что, с целью уменьшения плотности поверхностный состояний на границе раздела, внедрение ионов производят при дозе облучения более 7 1017 см-2.