Способ изготовления гетероперехода sic-si

Описание

Способ изготовления гетероперехода SiC-Si путем внедрения ионов углерода энергией несколько десятков килоэлектронвольт в кристалл кремния и последующего отжига, отличающийся тем, что, с целью уменьшения плотности поверхностный состояний на границе раздела, внедрение ионов производят при дозе облучения более 7 1017 см-2.

Заявка

1933511/25, 25.06.1973

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Герасименко Н. Н, Кузнецов О. Н, Любопытова Е. В, Смирнов Л. С, Лежейко Л. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/265

Метки: sic-si, гетероперехода

Опубликовано: 20.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-463398-sposob-izgotovleniya-geteroperekhoda-sic-si.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления гетероперехода sic-si</a>

Похожие патенты