Патенты с меткой «пьедестале»
Способ размещения кремниевых монокристаллических подложек на пьедестале
Номер патента: 1105075
Опубликовано: 30.01.1994
Авторы: Бакун, Брюхно, Долгих, Матовников, Огнев, Четвериков
МПК: H01L 21/205
Метки: кремниевых, монокристаллических, подложек, пьедестале, размещения
СПОСОБ РАЗМЕЩЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК НА ПЬЕДЕСТАЛЕ при газофазном осаждении на них полупроводниковых слоев, включающий установку подложек на пьедестал с закреплением на стержнях, съем подложек с осажденными слоями с пьедестала, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных подложек с осажденными слоями за счет уменьшения вероятности их разламывания при съеме, при установке подложек на пьедестале биссектрису угла между двумя смежными плоскостями преимущественного разрушения каждой подложки ориентируют параллельно плоскости, проходящей через оси стержней.