Патенты с меткой «n+pnpp+»
Способ изготовления многослойных структур n+pnpp+ типа
Номер патента: 1340476
Опубликовано: 27.06.2000
Авторы: Грипас, Локтаев, Марквичева, Насекан, Нисневич, Павлынив
МПК: H01L 21/225
Метки: n+pnpp+, многослойных, структур, типа
1. Способ изготовления многослойных структур n+-p-n-p-p+ типа силовых тиристоров, включающий создание на p-n-p-структуре маскирующей пленки, локальной со стороны катода и сплошной со стороны анода, загонку донорной примеси, полное удаление маскирующей пленки, осаждение на анодную сторону раствора, содержащего соединения бора, складывание пластин в стопку и разгонку, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических параметров тиристора за счет повышения однородности подлегирования бором шунтов и управляющего электрода со стороны катода и создания неоднородного распределения времени жизни неосновных носителей заряда в n-базе, на анодную сторону осаждают раствор,...