Патенты с меткой «непланарных»
Способ изготовления n-p+и p-p+-структур кремниевых непланарных приборов
Номер патента: 1424631
Опубликовано: 10.06.2000
Авторы: Басовский, Зданович, Кац, Орехов, Сидоров
МПК: H01L 21/208
Метки: p-p+-структур, кремниевых, н-п.и, непланарных, приборов
Способ изготовления n-p+- и p-p+ - структур кремниевых непланарных приборов, включающий заполнение промежутка между кремниевой монокристаллической пластиной-подложкой и пластиной-источником расплавом алюминия и последующее проведение зонной перекристаллизации в поле с градиентом температур, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества структур за счет уменьшения удельного сопротивления p+-слоя, в качестве пластины-источника используют пластину поликристаллического кремния, легированную бромом до уровня 1020 - 3 1020