Патенты с меткой «неоднородное»

Номер патента: 504434

Опубликовано: 05.08.1978

Авторы: Беляускас, Шеркувене, Янушонис

МПК: H01L 21/64

Метки: неоднородное, объемной, примесное, стекло, фотолитографии

...системы остается недостаточной.Цель изобретения - создание примесного стекла для объемной фотолитографии, сочетаквяего свойства, необходимые для создания качественных транзисторных структур при субмикронной толщине слоя, что в свою очередь обеспечивает создание транзисторных структур микронных размеров. Это достигается размещени ду легирующим и маскирующимэкранирующего слоя, соетояще 30-95 вес.В окиси алюминия, остальное - двуокись кремния. Скорость про никновения окислителя в экранирующем слое с предпочтительным составом 80 вес.В окиси алюминия и 20 вес.Ъ двуокиси кремния более чем на два по рядка меньше скорости проникновения в слое термической двуокиси кремния такой же толщины, поэтому экранирую 1 щий слой толщиной 0,08-0,15 мкм...