Устройство для проекционного экспонирования в микролитографии
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
,А. ГоСыче ни скин,А.А,ТерФ. Фала. Ул ника 1 ригин ля из лне)1, В 22248753ублик. с. 52-6 оль которых обладаю 19 чнои(54) УСТРОЙ ЭКСНОНИРОВА (57) Изобре ырвав кратшиес нками ионнои литользовано ронь выбив Экспо потод "дей через уществляетсроникающих9 напряжени рование ктронов, источник тегральных ом э тронных схе ронными раз изобретения вием ленку 8. электропроводя ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТНРЫТ САНИЕ ИЗО К А 8 ТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТ(56) Электроника, 198Патент Франции Укл. С 03 В 27/50, оп ТВО ЛЛЯ ПРОЕКЦИОННОГО ИЯ В МИКРОЛИТОГРАФИИ ение относится к проекграфии и может быть испроцессах изготовленияоптических, оптоэлеки оригиналов с субмикерами элементов, Целью является улучшения каества иэображения путем повышен ющеи способности при уменьасштаба изображения оригинатрафиолетовый поток от источ света через прозрачные облас ла 2 попадает на устройство енения масштаба съемки, выое в виде набора усеченных онусов 3, внутренние стенки выполнены из материала, щего фотоэлектронной и втоэлектронной эмиссией. Под ействием поля между электро 5 первичные,фотоэлектроны,з стенок конусов, мн аряются с этими же с из них вторичные эл12 р 3 ичные злерпрвн аз 27 бб/47(ПИ Произв,-полиг Изобретение относится к проекционной литографии и может быть использовано в процессах изготовления интегральных, оптических, оптоэлектронных схем и оригиналов с субмикронными размерами элементов. Цель изобретения - улучшение качества изображения путем повышенияразрешающей способности при уменьшении масштаба изображения оригинала.На фиг. 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 - сечение полойтрубки устройства.Устройство содержит источник 1света ультрафиолетового диапазона,оригинал 2, расположенный между источником 1 света и устройством изменения масштаба изображения оригинала 2, которое выполнено в виде конусов 3 со стенками из материала, обладающего фотоэлектронной и вторичной электронной эмиссией. На торцовые поверхности конусов 3 нанесеныпроводящие электроды 4 и 5, связанные с источником б напряжения. Пучексужающихся конусов 3 расположен между оригиналом 2 и экспонируемой поверхностью 7 с нанесенной на нееэлектропроводящей пленкой 8, причемширокие торцовые поверхности набораконусов 3 обращены к оригиналу 2,а узкие - к экспонируемой поверхности 7. Положительный полюс источника 9 напряжения подключен к электропроводящей пленке 8, а отрицательный - к электродам 5, расположеннымна узких торцовых поверхностях конусов 3,Устройство работает следующимобразом. 33 О 91 2Ультрафиолетовый поток от источника 1 света через прозрачные областиоригинала 2 попадает на широкую торцовую поверхность конуса 3, из стенок которых под действием света вырываются первичные Фотоэлектроны(Фиг, 2). Последние под действиемполя между электродами 4 и 5 испытывают многократные соударения со стен- О ками трубки 3, выбивая из нее массувторичных электронов. Под действиемисточника 9 напряжения поток электронов проникает через электропроводящую пленку 8, осуществляя экспони рование.Таким образом, на экспонируемойповерхности 7 Формируется уменьшенное изображение оригинала 2,20 фор мула изобретения Устройство для проекционного экспонирования в микролитографии, содержащее последовательно расположенные 25 источник света, средство для размещения оригинала, а также устройстводля изменения масштаба съемки, выполненное в виде набора усеченных конусов, меньшее основание которых обра- ЗО щейо к. экспонируемой поверхности,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью улучшения качества изображения путем повышения разрешающей способности при уменьшении масштабаизображения оригинала, усеченные конусы выполнены полыми, их внутренниестенки изготовлены из материала, обладающего фотоэлектронной и вторичной электронной эмиссией, а на торцах усеченных конусов расположеныэлектроды. Тираж 436 Подписноег, Ужгород, ул, Проектная, 4
СмотретьЗаявка
3699257, 02.02.1984
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2438
АНИКИЕВ ЮВИНАЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ГОРСКИЙ ВАЛЕРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КЕРИМОВ АЛЕКСАНДР АЛИ-ОВСАДОВИЧ, СЫЧЕВ АЛЕКСЕЙ ЕГОРОВИЧ, ТЕР-МАРКАРЯН АРУТЮН АРУТЮНОВИЧ, УСТИНОВ ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ФАЛОВСКИЙ ВЛАДИМИР ФЕДОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G03B 27/50, G03F 7/20
Метки: микролитографии, проекционного, экспонирования
Опубликовано: 23.05.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1233091-ustrojjstvo-dlya-proekcionnogo-ehksponirovaniya-v-mikrolitografii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для проекционного экспонирования в микролитографии</a>
Способ ослабления контакта между поверхностями рудного тела и твердеющего закладочного массива
Номер патента: 1046517
Опубликовано: 07.10.1983
Автор: Штеле
МПК: E21C 41/06
Метки: закладочного, контакта, массива, между, ослабления, поверхностями, рудного, твердеющего, тела
...цель достигается тем,что согласно способу ослабления контакта между поверхностями рудного те 40ла н твердеющего закладочного массива,вюпочающему бурение скважин по рудемежду закладочным массивом и подготсвительнойвыработкой, нагнетание через эти скважины под давлением жидкости в зону контакта руды с закладкой,45которой заполняют выработанное просчранство, скважины бурят из выработаниого пространства до проходки подготовительных выработок, на поверхности рудного тела в местах расположения устьевскважин формируют выемки, которыезаполняют герметичным материалом дозакладки выработанного пространства,а жидкость нагнетают в запошиющийвыемки материал,55На фи. 1 изображен вертикальныйразрез рудного тела и твердеющей заи.ладки;...
Устройство для определения коэффициента трения между поверхностями отливки и стержня
Номер патента: 474390
Опубликовано: 25.06.1975
Автор: Зеньков
МПК: B22D 15/00, B22D 29/00, G01N 19/02
Метки: коэффициента, между, отливки, поверхностями, стержня, трения
...на опоре 21, смонтированной на не:1 одвцжцой цолуформе 1.Для одновременцои записи усилия обжатця шарнирно соединенных частей 5 и б стержня отливкой 9 и усилия вытяжки частей стержня цз отливки устройство снабжено комплектом приборов, состоящим из осциллографа 22, усилителя 28 и блока питания 24, Для измерения и записи температур г 1 оверхностей частей стержня и отливки устройство снабжено потецциометром 25 с регулцруоцим устройством и термо 1 царами 26 и 27, причем термопара 27 вмонтирована в тол,катель 28,Для своевременного извлечения центрального клина, а также шарнирно соединенных частей стержня устройство имеет электропдравлпческие распределители, управляемые при помощи регулирующего устройства потенциометра 25 в соответствии с...
Устройство для определения силы трения между поверхностями перфокарт
Номер патента: 706751
Опубликовано: 30.12.1979
Авторы: Бахарев, Гончаров, Грушевский, Чуперов
МПК: G01N 19/02
Метки: между, перфокарт, поверхностями, силы, трения
...и регистрирующее 14 устройства. Иэме силы трения выполнен в виде плосужины 15, на которой наклеены тензо.ивления 16, соединенные по мостовой и взаимодействующие с операционным елем 9. Груз 4 снабжен штоком 17, а - упором 18, с которым взаимодейверхняя перфокарта 19.7067 5 Ц 11 ИИПИ Заказ 8209/37 Тираж 1073 Г 1 олписл Филиал ПП 1 "Пагент", г, Ужгород, ул. Проектна,3Устройство работает следующим образом,Ба стол 2 укладывается стопа 3 перфокарт,причем верхняя перфокарта 19 сдвигаетсяна 1/3 длины до взаимодействия с упором 18.На стопу карт укладывается груз 4. Включается привод 6, который через редуктор 7 иходовой винт 8 перемещает стол 2 в направлении пружины 15. Шток 17 начинает изгибатьпружину 15, при этом тензосопротивления...
Устройство для определения локальных коэффициентов теплоотдачи между поверхностью раздела фаз и движущейся средой
Номер патента: 1057829
Опубликовано: 30.11.1983
Авторы: Геращенко, Грищенко, Декуша, Сажина, Сало
МПК: G01N 25/18
Метки: движущейся, коэффициентов, локальных, между, поверхностью, раздела, средой, теплоотдачи, фаз
...с(, необходимо измерять плотность теплового потока, прошедшего через тепломеры 4)0 а также плэтность тепловыделения плоского нагревателя 7.В предлагаемом устройстве для определения величины (12 - с используют тепломеры 4 равной чувствитель-, 15 ности, включенные дифференциально, при этом их разностный сигнал будет пропорционален разности ппостностей теплового потока, прошедшего через них20причем следует заметить что коэффициент преобразования К тепломеров 4 зависит в общем случае от температуры, поэтому измерение величины мощности Й, с помощью ваттметра ухудшает характеристики устройства из-за необходимости учета зависимос ти коэффициента преобразования теп ломеров 4 от температуры и необходи. мости иметь еще один вторичный прибор...
Устройство для определения локальных коэффициентов теплоотдачи между поверхностью раздела фаз и движущейся средой
Номер патента: 1059494
Опубликовано: 07.12.1983
Авторы: Геращенко, Грищенко, Декуша, Сало
МПК: G01N 25/18
Метки: движущейся, коэффициентов, локальных, между, поверхностью, раздела, средой, теплоотдачи, фаз
...среду (жидкостьили гаэ), теплообмен с которой исследуетсяПри этом целесообразноприменять вторую модификацию устройства (фиг. 2), в которой вместо одного из штуцеров в теплометрическомблоке. выполнено отверстие 9, черезкоторое полость заполняется рабочейсредой.Если теплопроводность рабочейсреды изменяется за время проведенияисследований, тб для контроля этогоизменения в комплект с предлагаемымустройством вводят индикатор теплопроводности движущейся среды(фиг. 3), работающий по принципу ., теплометрического моста, собранныйиз таких же элементов, что и предлагаемое устройство (фиг. 2), и отличающийсяот него тем, что вместо защитной пленки или фольги на поверхностях тепломеров 1 и 2 смонтирована дополнительная температуровыравнивающая...
Предыдущий патент: Киносъемочный аппарат
Следующий патент: Устройство для дефектоскопии поверхности изделий
Случайный патент: Способ лечения сосудистых заболеваний мозга