Реформатский
Способ контроля точности совмещения при микролитографии
Номер патента: 1046804
Опубликовано: 07.10.1983
Авторы: Гурьянов, Пустовалов, Реформатский, Стемпковский
МПК: H01L 21/66
Метки: микролитографии, совмещения, точности
...слоях,получаются нечеткими. Цель изобретения - повышение точности контроля. На чертеже показан рельеф, получаемый в результате микрогравировки,В результате последовательной пропечатки рисунков топологических слоев на одну и ту же прозрачную пленку 1, расположенную на подложке 2, элемен" ты этих рисунков представляют собой углубления, вписанные друг в друга, и образуют ступенчатый рельеф 3 с четкими очертаниями каждой ступени,Затем подложку наблюдают под микроскопом в отраженном свете. При этом ступенй рельефа оказываются поразному окрашенными за счет интерференции лучей 1 и 5 света, отраженных от нижней и верхней поверхностей прозрачной пленки соответственно, что обеспечивает хорошую контрастность изображения. Далее проводят измерение...
Устройство для дистанционного наблюдения объектов
Номер патента: 911435
Опубликовано: 07.03.1982
Авторы: Иванов, Мотин, Реформатский
МПК: G02B 23/12
Метки: дистанционного, наблюдения, объектов
...бора, а. также спиральэлектронагревателя 5,.внутри которойрасположен световод.Передающая электронно-лучеваятрубка 4 объектив 3 расположены внедействия поля ионизирующего излучения за биологической защитой 6.Устройство работает следующим образом,С помощью объектива 1 на входнойторец волоконно-оптического световода 2 проецируется изображение исследуемого объекта. Объектив 3 формируетизображение, переданное на выходнойторец волоконно-оптического световода 2 в плоскости фотокатода телевизионной электронно-лучевой трубки 4для его регистрации, Под действиемионизирующего излучения в волоконно"оптическом световоде возникают радиационные центры окрашивания, количество которых зависит как от материала волоконно-оптического световода, так и от...
Устройство для дистанционного наблюдения объектов
Номер патента: 911434
Опубликовано: 07.03.1982
Авторы: Иванов, Мотин, Реформатский
МПК: G02B 23/12
Метки: дистанционного, наблюдения, объектов
...волоконно-оптического световода, а следовательно, и равномерное радиационнОеокрашивание в поле ионизирующего излучения. . 40На чертеже изображено устройстводля дистанциончого наблюдения объек,тов в мощных полях ионизирующих излучений.Устройство содержит телевизионный объектив 1, служащий для формирования изображения в плоскости входного торца волоконно-оптического свето- вода 2. С выходного торца световода изображение объекта с помощью объек- ф 0 тива 3 проецируется на фотокатод телевизионной передающей трубки 4. В качестве одной иэ оболочек стекловолокон, составляющих волоконно-опти.ческий световод, применено покрытие, которое нанесено также и на торцы волоконно"оптического световода,слу. жащие в качестве электрических контактов...
Устройство для дистанционного наблюдения объектов
Номер патента: 911433
Опубликовано: 07.03.1982
Авторы: Иванов, Мотин, Реформатский
МПК: G02B 23/12
Метки: дистанционного, наблюдения, объектов
...и по волоконно-оптическому световоду оно транслируется на выходной его,торец. Объектив 3 Формирует изображение, переданное на выходной торец волоконно-оптического световода в плоскости фотокатода те55 Такое конструктивное решение обеспечивает безградиентный, по сечению волоконно-оптического световода,нагрев до температур, необходимых для стабилизации коэффициента светопропускания на определенном уровне,что позволяет передавать изображение объектов, находящихся в мощных полях ионизирующего излучения без заметного искажения их оптических свойств, а также получать высокий суммарный . коэффициент светопропускания по сечению волоконно-оптического световода. На чертеже изображено устройство для дистанционного наблюдения объектов в мощных...
Устройство для дистанционного наблюдения объектов
Номер патента: 297938
Опубликовано: 07.10.1980
Авторы: Жихорев, Иванов, Малахов, Мотин, Реформатский, Синицын
МПК: G01B 23/12
Метки: дистанционного, наблюдения, объектов
...15 ном потемнении стекловолокна и его термическим осветлением.На чертеже представлена принципиальная схема устройства.Изображение объекта, которое формируется с помощью устройства для наблюдения, фокусируется входным объективом 1на входной торец волоконно-оптического световода 2 и транслируется на выход 2ной торец, с последнего через выходной объектив 3 передается на фогокатод передаюшей электро нолучевой трубки 4 выполненной с устройством 5 для охлаждения. Затем сфокусированное на фотокатоде электроннолучевой трубки 4 . изображение преобразуется в электрический сигнал и по бронированному кабелю 6 энергопитания поступает через биологическую защиту 7 в блок 8 усиления и формирования видеосигнала, откуда затем выдается на экран...
Грейферный механизм для киноаппарата
Номер патента: 678451
Опубликовано: 05.08.1979
Авторы: Оберемок, Пикалов, Реформатский
МПК: G03B 1/22
Метки: грейферный, киноаппарата, механизм
...зубьями, вызывающему увеличение неустойчивости678451 3оканчивается грейферными зубьями 5 и соединен шарниром 6 с тягой 7. Тяга 7 своим концом соединена шарниром 8 с рычагом 9, качающимся относительно оси 10. К качающе. муся рычагу 9 шарниром 11 подсоединены дополнительные кривошип 12 и шатун 13, соеди. ненные между собой шарниром 14. Кривошип 12 жестко укреплен на зубчатом колесе 15, которое находится в зацеплении сзубчатым колесом 2; На оси 16 дополнйтельного криво.шипа 12 укреплен кулачок 17, соприкасающийся своей профильной поверхностью с боковыми стенками рамки 18 контргрейферной вилки 9.На. чертеже изображены также стойка (корпус механизма) 20, транспортируемая кинолен та 21 и траектория а-б.в-г-д-е-ж"д движения концов...
Устройство для дискретного светового потока объектива
Номер патента: 596899
Опубликовано: 05.03.1978
Авторы: Борисов, Мамонтов, Реформатский
МПК: G03B 7/00
Метки: дискретного, объектива, потока, светового
...рейка 4 и жесто закреплены концевые упоры 5.Зубчатая рейка 4 через пружины б н 7 взаимодействует с оправой 8, на которой закреплен фиксатор 9, а че рез зубчатое колесо.10 - с диафрагмой 11 съемочного объектива. Кроме того, в стойке 1 выполнено два паза я и 5 под фиксатор 9.Прн проведении съемки через диафрагму 11 на кинопленку киносъемочного аппарата (на чертеже не показан попадает световой поток заданной интенсивности. При изменении освещенности, например при увеличении размер диафрагмы уменьшается ло предельно заданного"значения, Зубчатое колесо 10 получает при этом вращение в направлении стрелки т, от привода экспонометрического устройства (на чертеже не показан) н перемещает рейкч 4 в направлении стрелки А. Это пе"596899 Формула...
Грейферный механизм для киноаппарата
Номер патента: 540243
Опубликовано: 25.12.1976
Авторы: Оберемок, Пикалов, Реформатский
МПК: G03B 1/22
Метки: грейферный, киноаппарата, механизм
...колеса 21 должен соответствовать одной кадросмене (одному циклу).Механизм работает следующим образом.При вращении колес 2 и 21 кривошип 1 сообщает шатуну 4 с грейферными зубьями 5 продольное (в направлении транспортирования киноленты) движение, а кривошип 18 через шатун 19 сообщает качательное движение рычагу 9, который через камень 12 сообщает контргрейферной вилке 13 прямблинейное движение, а через тягу 7 - дополнительное поперечное перемещение грейферным зубьям 5. За одну кадросмену колесо 21 совершает один оборот (один цикл), а колесо 2 - целое число оборотов, равное передаточному числу зубчатой передачи. Дополнительное поперечное перемещение грейферных зубьев 5 с помощью кривошипа 18 и шатуна 19 рычага 9 и тяги 7 позволяет...
Радиационностойкий оптический элемент
Номер патента: 356699
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Викторова, Московский, Мотин, Реформатский
МПК: G21F 7/02
Метки: оптический, радиационностойкий, элемент
...представляет ным.Не всегда допустимо поддержан высоких температурах с помощь источников тепла для компенсац онного потемнения в условиях п радиационного фона.Цель изобретения - . осветлени демонтажа, а также без использ венных источников тепла,а термиченеобходим (окна в горископы и 15затратами цией камер, ся возможэлемент, и термим, что, с еличения с выполроводной емент, и к нему ие СОЭ при ю косвенных ии радиаци- овышенного е СОЭ без вания косИзобретение относитс зации светопропускания ских элементов (СОЭ) го радиационного фонаИзвестен метод тер потемневших стекол, что СОЭ, находящийся нагревают до температ ров окрашивания. Эта интервале 400 в бК,Реформатский и 1 О. Д. Мотин 2Для этого на поверхность СОЭ наносится прозрачная...