Патенты с меткой «фосфиде»
Способ изготовления полупроводниковых приборов с барьером шоттки на фосфиде индия
Номер патента: 1335056
Опубликовано: 27.12.1995
Авторы: Авдеев, Зотов, Колмакова, Матвеев
МПК: H01L 21/28
Метки: барьером, индия, полупроводниковых, приборов, фосфиде, шоттки
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ НА ФОСФИДЕ ИНДИЯ, включающий химическую обработку поверхности пластин фосфида индия, включающий химическую обработку поверхности пластин фосфида индия, включающий химическую обработку поверхности пластин фосфида индия, включающий химическую обработку поверхности пластин фосфида индия, напыление в вакууме неактивного металла и формирование контактов, отличающийся тем, что, с целью увеличения пробивных напряжений за счет увеличения высоты барьера Шоттки, химическую обработку пластин фосфида индия осуществляют в плавиковой кислоте при температуре от 80 до 106oС в течение не менее 5 мин, а испытание неактивного металла производят через время, не превышающее 60 мин на...