Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51) 4 ЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ГОСУД АРС ПО ДЕЛА ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН8 ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Б. КОНТАЛЕИ мериоблася. Целводиэкс(21) 4046877/24-28(54) ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОЛИРОВАНИЯ ДЕТ(57) Изобретение относится ктельной технике, в частностити оптического приборостроениизобретения - повьнпение проительности - достигается путем прессного определения качества полирования. Для образцов определенногоматериала определяют на эллипсометреугол падения и азимут поляризации,при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, что соответствует достижению главного угла,падения и главного азимута поляризатора. Заменяя эталон контролируемымобразцом для найденных углов паденияи азимута поляризации, определяют отклонение состояния поляризации отраженного поляризационного света откруговой поляризации, по которомусудят о качестве полирования,1366878 Формула изобретения Составитель В.КлимоваТехред М.Ходанич Корректор И.Муска Редактор А.Ревин Заказ 6826/41 Тираж 680 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграйическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к оптическому приборостроению,Цель изобретения - увеличение про 5изводительности контроля.Поставленная цель достигается путем экспрессного определения качества полирования поверхностей,Способ осуществляют следующим образом.Предварительно на столик эллипсометра устанавливают эталонную детальи определяют угол падения и азимутполяризатора, при котором отраженное 15излучение будет поляризованным покругу. Это регистрируется по равенству интенсивностей 1, = 1 = 1 , притрех азимутах анализатора, что соответствует достижениюглавного угла паодения ( Д = 90 ) и главного азимутаполяризатора .(=)Эту операцию производят однократно для образцов определенного материала. 25Затем, располагая на столик эллипсометра контролируемый образец, устанавливают угол падения света и ази"мут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии Зос определенными значениями углов дляэталона.Измеряют соответствующие интенсивности отраженного света.Равенство 1 = 1 = 1 отраженно35го от контролируемого образца поляризованного света позволяет заключить,что качество полирования соответствует эталону, так как отраженныйсвет будет эллиптически поляризован 40 пока его главный угол и эллиптичность не станут равными главному углу и эллиптичности эталонного образца, Определение круговой поляризации может быть осуществлено либо по равенству интенсивности 1 = 1 з = 1 ц, либо анализатором, вращающимся с постоянной угловой частотой.По величине отклонения состояния поляризации отраженного поляризованного света от круговой поляризации судят о качестве полирования контролируемого образца. Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей, заключающийся в том, что устанавливают угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра и по состоянию поляризации света, отраженного от детали, судят о качестве полирования, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения производительности контроля, предварительно для эталона определяют угол падения света и.азимут поляризации поляризатора эллипсометра, при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, устанавливают угол падения света и азимут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии с определенным значением углов для эталона, а о качестве полирования судят по величине отклонения состояния поляризации отраженного поляризируемого света от круговой поляризации.
СмотретьЗаявка
4046877, 31.03.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2038, КИЕВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Т. Г. ШЕВЧЕНКО
МАСЛОВ ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ, МЕЛЬНИК ТАМИЛА САМОЙЛОВНА, ОДАРИЧ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/30
Метки: качества, полирования, эллипсометрический
Опубликовано: 15.01.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1366878-ehllipsometricheskijj-sposob-kontrolya-kachestva-polirovaniya-detalejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей</a>
Прибор для демонстрации степени поляризации рассеянного света неба
Номер патента: 91110
Опубликовано: 01.01.1950
Автор: Яворский
МПК: G09B 23/22
Метки: демонстрации, неба, поляризации, прибор, рассеянного, света, степени
...селеноього фотоэлемента 10. При поворачивании поляроида на 180" неизбежно будут два иоложения, при которык глоокость поляризации светя геба будет перпе)ндикулярна, а затем паралле,ьиа опти еской о-и по,.яроида Пр 5 этом Яльванозет 1 з 14 соответственно покажет Я;си.1 азьиый и минимальный ток, по которым можно определить степе)ь иол 51- ризации света неба.91110При одном из положенин поляроида, копза через него проходит не ослабленный элемент колебаний света неба, гальванометр покажет максимальные значения 1 с. При ином положении поляроида, когда через него проходит ослабленный элемент колебаний (так как свет неба ча, с 1 фично поляризован), получим минимальное показание гальванометра 1, Следовательно, ток, приходящийся на долю...
Способ анализа газовой смеси путем атомной абсорбции отраженного света
Номер патента: 735935
Опубликовано: 25.05.1980
Авторы: Абрамовский, Альтман, Ионов, Назаров, Патракеев, Чирков
МПК: G01J 3/42
Метки: абсорбции, анализа, атомной, газовой, отраженного, путем, света, смеси
...5935м%+ функция, характеризующаяослабление в результате мнегократных отражений. Очевидно; что при временнойзвдерж 5 ки Т в кювете существуетсвет, испытавший и "- сотражений, Положим, чтоЧ(п 1 =коэффиц иент,диффузного оражения,и - среднее число отражений,вызывающее эквивалентныйэффект ослабления света.При коэффициенте диффузионного рассеяния р = 0,95 ослабление света в10 и 10 происходит в случае 100и 230 рвз отражений от стенок, соответственно. Если принять, что порог чувствительности светового потока совре менных умножителей 10 Люмен диаметр сферы 1 м, диаметр окна фотокатода умножителя 2,8 см (угол обзора-42умножит епя и = 10 стерадиан), мощность источника света Эо = 100 ватт,прй длительйости световых импульсов10 сек, то можно...
Устройство для анализа качества сыпучего материала на ленте конвейера
Номер патента: 1041447
Опубликовано: 15.09.1983
Авторы: Белоножко, Кривонос, Миняйло, Ситюк
МПК: B65G 43/00
Метки: анализа, качества, конвейера, ленте, сыпучего
...3 между рамой 1 икронштейном 4 установлен тензодатчик 23,который подсоединен к седьмому входу вычислительного устройства 12, восьмой входкоторого соединен с выходом тахогенератора 18.Работа устройства осуществляется следующим образом.С помощью конвейерной ленты 6 сы.пучий материал 7 подается в зону контроля(направление движения материала показаносложной линией с двойной стрелкой нафиг. 1). С помощью Л-образного плужкового сбрасывателя 3 формируется поверхностьматериала 7. Чем больше слой материалаи чем больше плотность материала и егоскорость, тем с большей силой материал дей.ствует на плужковый сбрасыватель 3, и темсильней сжимается тензодатчик 23, и тембольше сигнал на его выходе 1,Слой материала 7 от источника 8 облучается...
Устройство для полной записи информации о волновом поле
Номер патента: 484485
Опубликовано: 15.09.1975
Автор: Меньших
МПК: G03C 9/08
Метки: волновом, записи, информации, поле, полной
...источник излучения и элементы опорных каналов. Однако при использовании ограниченных по сечению плоских волн света использование пластин-голограмы ограниченных размеров (це замкнутой) обосновано, поскольку для ограниченных плоских пучков света интенсивность электромагнитных полейзя 1 слс 1 эффск цноо сс 1 снц ц) чх плоской сегоой олнь незначительна, Разрешающая способность цо предмету при этом определяется апертурой (сечением) плоской волны, а следовательно, размерами голопраммы (той ее части, где записана ицтерферограмма). Можно показать, что при диаметре апертуры плоской волны порядка 100 мм теоретическая разрешающая способность намного выше той, которая могла бы реализоваться ца практике.1(ак известно, основной трудностью в...
Устройство для измерения толщины и показателя преломления пленки
Номер патента: 1073568
Опубликовано: 15.02.1984
Автор: Смирнов
МПК: G01B 11/06
Метки: пленки, показателя, преломления, толщины
...8, фотоэлементы 9 и 10. На чертеже показаны также состояния поляризации световых пучков В, Еп, Ер - электрические векторы световой волны б. - нормаль к пленке 11, п - нормаль к прозрачной плоскопараллельной диэлектрической пластине 8,- угол падения света на пленку 11, - угол падения света иа прозрачную плоскопараллельную диэлектрическую пластину 3, равный углу Брюстера для этой пластипи при длине световой волны источника 1 параллельного, монохроматического и линейно поляризованного света, .- "угол между электрическим вектором Е падающей на пленку 11 световой волны и плоскостью падения, А-А - ось вращения предметного столика б и планки 7, О - точка пересечения оси светового пучка с осью вращения предметного столика 6 и планки...
Предыдущий патент: Способ измерения взаимного углового положения объектов
Следующий патент: Устройство для измерения геометрических размеров изделия
Случайный патент: Проникающая стойка канатной пилы