Способ изготовления игольчатых автоэмиттеров

Номер патента: 213200

Авторы: Афанасьев, Гарбер, Михайловский

ZIP архив

Текст

213200 ьоюз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельствал, 21 д, 13/20 явлено 08.71.1966 (М 1081717/26-25 явкиприсоединениех 1 ПК Н иоритет Комитет по делам аобретении и открытий при Совете Министров СССРОпубликовано 12.11.1968. Бюллетень10Дата опубликования описания 22.Ч,1968 Авторыизобретения И.-Г, Гарбер, В. И, Афанасьев и И. М, Михайловски изико-технический институт АН УССР Заявител ИГОЛЬЧАТЫХ АВТОЭМИТТЕРО ГОТОВЛЕ ОСО Предлагаемь эмиттеров отли проволочную з кулярно поверх стины внутрий способ изготовл, чается от известны аготовку помещают ности электропровод двух изолирующих ия автотем, что ерпендищей пла- илиндров Изобретение предназначено для изготовления автокатодов для ряда электронных приборов: рентгеновских труоок, инжекторов - группирователей линейных ускорителей, а также для автоионных и автоэлектронных микроскопов.Известны способы изготовления игольчатых автоэмиттеров путем удаления металла с участка проволочной заготовки до ее разрыва химическим или электрохимическим травлением. Однако при таком изготовлении эмиттеров на их поверхности образуется устойчивая пленка, которую не удается удалить нагревом эмиттера до высокой температуры. Кроме того, большинство материалов, обла.- дающих малой адсорбционной способностью (Та, 1 г, Р 1, К 1 т), электрополируется только в расплавках МаКО, МаС 1, КОН при высокой температуре или в крайне токсичном растворе цианистого калия. При этом повышается коэффициент диффузии, что приводит к существенным объемным загрязнениям образца, сопровождающимся неконтролируемыми изменениями работы выхода. с конусообразными раструбами на концах,обращенных друг к другу, и с кольцевым зазором между ними и прикладывают междузаготовкой и пластиной разность потенциа 5 лов, достаточную для возникновения катодного распыления материала заготовки вобласти зазора между раструбами.На чертеже представлено устройство дляизготовления автоэмиттеров по предлагаемоО му способу.Оно содержит проволочную 1электропроводящую пластинуцилиндры 3 с раструбами.Заготовка в виде проволоки из необходи 5 мого материала распыляется ионами инертных газов при давлении последних 10 т -10-в,ил рт. ст. Давление остаточных газовв системе - 10 в - 10 мл рт. ст. Конусообразные изолирующие экраны позволяют по 0 лучать распыление, неравномерное по длинераспыляемого участка проволоки и, такимобразом, получать острия-иголки с заданнымуглом конуса при вершине,В процессе распыления центральная часть5 распыляемого участка становится настолькотонкой, что не выдерживает веса свисающеичасти проволоки и обрывается. Нижняя частьзаготовки, падающая в специальный держатель, используется как автоэмиттер. СреднийО радиус кривизны его острия определяется213200 Предмет изобретения Составитель Г. А. Жукова Редактор Н. А. Джарагетти Техред Р, М, Новикова Корректоры: Н. И. Быстрова и С, А. БашлыковаЗаказ 1036/11 Тираж 30 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4 Типографии, пр. Сапунова, 2 прочностью материала и весом нижней части заготовки.Предлагаемый способ позволяет избежать загрязнений автоэмиттеров в процессе их изготовления, а также необходимости работать с токсичными травителями. Способ изготовления игольчатых автоэмиттеров путем удаления металла с участка проволочной заготовки до ее разрыва, отличавирися тем, что, с целью уменьшения объемных и поверхностных загрязнений автоэмиттеров, проволочную заготовку помеща 1 от перпендикулярно поверхности электропрово дящей пластины внутри двух изолирующихцилиндров с конусообразными раструбами на концах, обращечных друг к другу, и с кольцевым зазором между раструбами и прикладывают между заготовкой и пластиной раз ность потенциалов, достаточную для возникновения катодного распыления материала заготовки в области зазора между раструбами.

Смотреть

Заявка

1081717

Р. И. Г. Гарбер, В. И. Афанасьев, И. М. Михайловский Физико технический институт УССР

МПК / Метки

МПК: H01J 1/304

Метки: автоэмиттеров, игольчатых

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-213200-sposob-izgotovleniya-igolchatykh-avtoehmitterov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления игольчатых автоэмиттеров</a>

Похожие патенты