Устройство для травления автоэмиттеров
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 091 011 Ю 1/30 1 Л 902 ф ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ДЛЯ ТРСве(54)(57) УСТР АВТОЭМИТТЕРОВ отличаю с целью повыш мости радиуса автоэмиттеров на втором эле на навеска из ЙСТВОпо автщ е е с я тния воспроиззакругленияв процессе ттроде сооснопроводящего ВЛЕНИЯ512505,м, что,одиерпяныавления,закреплеатериала1088083 АЭК И,ЗО ВНИИПИ Заказ 2683/50 Тираж 683 Подписное Филиал Ппп ффПатент", г.Ужгород, ул,Проектная, 4 Изобретение относится к технологии изготовления автоэмиссионныхкатодов (АЭК), предназначенных дляработы в электронных микроскопах,автоэлектронных (автоионных) проекторах и т.д,По основному авт. св. 9512505 известно устройство для травления, АЭК, выполненное в виде двух разделенных зазором параллельных пластин с соосными отверстиями, между которыми залит электролит, предназначенный дляэлектрохимического перетравливаниязаготовки, вставленной в отверстияэлектрода, Нижний конец заготовки, 15являющейся вторым. электродом, помещен в ванну с электропроводящей жидкостью, Травление заготовки осуществляется при подключении к электродам источника тока. Благодаря малой 20толщине пленки электролита, образующейся в зазоре пластин в районе отверстий, и относительно большому объему того же электролита в периферий. ной области между пластинами, процесс травления характеризуется достаточно высокой производительностью,обеспечивая малую конусность и высокую идентичность макрогеометрии Однако известное устройство имеет существенный недостаток, Момент образования острия АЭК (т.е. перетравливание заготовки) существенным образом зависит от веса ее нижней, отрывающейся части, что приводит к большому разбросу величины радиуса кривизны вершины АЭК. На завершающей стадии образования острия АЭК даже 40 незначительные флуктуации тока травления или механические перемещения нижней части заготовки под действием сил поверхностного натяжения приводят к тем же нежелательным пос 45 ледствиям. Целью изобретения является повышение воспроизводимости радиуса закругления вершины автоэмиттеров в процессе травленияПоставленная цель достигаетсятем, что в устройстве для травления1автоэмиттеров на втором электродесоосно закреплена навеска из проводящего материалаНа чертеже изображено предлагаемое устройство, общий вид.Устройство содержит первый электрод 1 в виде двух пластин, междукоторыми залит 1-2 М раствор ЯаОНс коаксиальными отверстиями, заготовку 2 для АЭК из вольфрама, одиниз концов которой закреплен точечной сваркой на прогреваемом вольфрамовом держателе 3, а другой соединен (также точечной сваркой) снавеской 4 из никелевой проволоки,Последняя погружена в ванну с токоф.проводящей жидкостью 5 (ИаС 2) . Стабилизированный источник 6 питания соединен с первым электродом 1 непосредственно и со вторым электродом2 - через И 1-электрод 7, растворИаС 1 5 и М-навеску 4,При включении источника 6 принапряжении 20 В в зазоре между плас"тинами 1 происходит травление заготовки 2, которая разрывается в момент достижения диаметра образующейся перетяжки 0,2 мкм, образуя тонкое острие.Благодаря большей массе навескипо сравнению с нижней частью заготовки и инертности никеля по отношению к раствору ИаС 1 в течениевсего времени травления (2-3 мин)обеспечивается полирующий режими формирование острия АЭК наступаетпри строго фиксированном размереперетяжки. Последнее обатоятельствоприводит к стабилизации микрогеометрии вершины АЭК и, следовательно,к высокой воспроизводимости эмиссионных параметров, разброс которыхне превышает 203.Технический эффект от внедренияизобретения заключается в увеличении процента выхода идентичных острий, а экономический эффект отвнедрения определяется снижениемсебестоимости автокатодов.
СмотретьЗаявка
3540278, 14.01.1983
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6762
ПАУТОВ ДМИТРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ТКАЧЕНКО ВАЛЕРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КРЫЛОВ ВЯЧЕСЛАВ АЛЕКСАНДРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 1/304
Метки: автоэмиттеров, травления
Опубликовано: 23.04.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1088083-ustrojjstvo-dlya-travleniya-avtoehmitterov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для травления автоэмиттеров</a>
Устройство для травления автоэмиттеров
Номер патента: 512505
Опубликовано: 30.04.1976
Авторы: Кочерыженков, Паутов
МПК: H01J 1/304, H01J 9/02
Метки: автоэмиттеров, травления
...требуемое количество электролита, так как по следний расходуется в процессе травления.Целью изобретения является уменьшениетолщины травящей пленки, а также на основе регулирования толщи ы пленки получение возможности управления процессом травления 25 для улучшения воспроизводимости изготовления автоэмиттеров.Поставленная цель достигается Выполнением первого электрода в виде параллельных пластин, между которыми имеется зазор для 30 заливки электролита. 1 аждая пластина имеет512505 Формула изобретения 20 Составитель Г. КудинцеваТехред Е. Подурушина Корректор М. Малкина Редактор Н. Коляда Заказ 1215,10 Изд.1280 Тираж 963 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, москва, Я(-35,...
Устройство для травления автоэмиттеров
Номер патента: 568981
Опубликовано: 15.08.1977
Авторы: Кочерыжненков, Паутов
МПК: H01J 9/02
Метки: автоэмиттеров, травления
...производительости травления за счет увеличения объема электролита ц;.прощеьце регулировки ц контроля, толщины травщей пленки электролита.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве по крайней мере одна цз обращенных друг к другу поверхностей пластин первого электрола выполнена в зоне отверстия вогнутой симметрично оси отверстия.На чертеже показан один из возможных вариантов предлагаемсго устройства.Устройство для травления автоэмиттероь содеркит первый электрод, выполненный в виде двух пластин 1 с соосньми отверстиями. причем, по крайней мере, одна из пластин в области отверстия имеет вогнутый участок 2, обращенный в сторону второй пластины и568981 Формула изобретения 15 20 Составитель Ю, Цветков Техред М. Семенов Редактор И,...
Автоматическое устройство для нанесения металлосодержащей пасты на заготовки радиодеталей, например на пластины керамических конденсаторов
Номер патента: 166785
Опубликовано: 01.01.1964
Авторы: Замбровский, Изобрете, Нежинский, Пельцман, Элиосов
МПК: H01G 4/12, H05K 13/00
Метки: автоматическое, заготовки, керамических, конденсаторов, металлосодержащей, нанесения, например, пасты, пластины, радиодеталей
...столе 28 заготовка прижимается к окну ленты. При обратном движении каретки 10 копир 2 б, жестко укрепленный на каретке, производит центровку очередной заготовки, удерживаемой вакуумным присосом. Разрежение в каналах, проходящих через оси 30, 31 и стол 28 к вакуумным присосам, осуществляется посредством вакуумного насоса, не показанного на чертеже.После нанесения пасты, распыляемой соплом 26, стол опускается. Посредством кониче ских шестерен 32, мальтийского креста 33 иводила с фиксатором 34 производится поворот стола 28 на 90 и фиксация его положения.В этом положении производится установка заготовок на столе 28 и съем заготовок, покры. 0 тых пастой, Затем процесс повторяется,Предмет изобретенияАвтоматическое устройство для нанесения 15...
Устройство для задания зазора между пластинами датчиков
Номер патента: 1421973
Опубликовано: 07.09.1988
Автор: Шевнин
МПК: G01B 5/14
Метки: датчиков, задания, зазора, между, пластинами
...Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграФическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к контрольной технике и может быть использовано при сборке приборов.Цель изобретения - повышение точности задания зазора за счет выполнения корпуса в виде трубы, а оснований - в виде цилиндров, соединенныхмежду собой с помощью планки.На чертеже изображено устройстводля задания зазора между пластинамидатчиков.Устройство содержит корпус 1, выполненный в виде трубы, выполненныев виде цилиндров с продольными пазами и установленные в корпусе 1 основания 2 и 3 с установленными на нихобоймами 4 и 5 с пластинами 6 и 7Основания .2 и 3 соединены...
Плашки для поперечной прокатки из цилиндрической заготовки нескольких цилиндрических изделий с остриями на обоих концах
Номер патента: 69171
Опубликовано: 01.01.1947
Автор: Томилин
МПК: B21H 1/18
Метки: заготовки, концах, нескольких, обоих, остриями, плашки, поперечной, прокатки, цилиндрических, цилиндрической
...в приемный ящик.Буквой А на фиг, 2 обозначено место прикрепления щеток из тонкой проволоки, которые служат для очистки вращающихся плашек как от посторонних загрязнений, так и от стальной пыли, образующейся в процессе прокатки.Для очистки неподвижных полукруглых плашек пропускается через отверстия и малые пазы в кольцах 7 тонкая проволока (на чертеже не показана). Эта проволока проходит по бокам резиновых колец иснаружи образует щеточки. По бокам к корпусу 7 прикреплены круглые диски 2. Через них проходит вал О, и они служат для него подшипниками, Между дисками 2 и крайними плашками с выступами 3 и 5 надеты на вал 9 конические шайбы 74, При закреплении дисков 2 на корпусе 7 следует обязательно обеспечить между конусной шайбой 74 и...
Предыдущий патент: Съемное устройство для охлаждения анода электронной лампы
Следующий патент: Способ оребрения деталей и устройство для его осуществления
Случайный патент: Устройство для динамических испытаний сооружений и их моделей