Кочерыжненков

Номер патента: 568981

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Кочерыжненков, Паутов

МПК: H01J 9/02

Метки: автоэмиттеров, травления

...производительости травления за счет увеличения объема электролита ц;.прощеьце регулировки ц контроля, толщины травщей пленки электролита.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве по крайней мере одна цз обращенных друг к другу поверхностей пластин первого электрола выполнена в зоне отверстия вогнутой симметрично оси отверстия.На чертеже показан один из возможных вариантов предлагаемсго устройства.Устройство для травления автоэмиттероь содеркит первый электрод, выполненный в виде двух пластин 1 с соосньми отверстиями. причем, по крайней мере, одна из пластин в области отверстия имеет вогнутый участок 2, обращенный в сторону второй пластины и568981 Формула изобретения 15 20 Составитель Ю, Цветков Техред М. Семенов Редактор И,...