Устройство для электрохимической обработки

:В ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТ 1(И(57) Изобретение относится к оборудованию для электрохимической обработки изделий. Цель изобретения - повышение качества электрохимической обработки за счет автоматического контроля Ы параметров обрабатываемого образца. Устройство для электро- химической обработки включает групповые линии связи 1, соединенные с Управляемым)".") : О )Ц )л 21 11()- (г ) 11 ,5-.:)Ы 1 С,(.) И И ТЕКМЦЕГО ЯНЯ ЦЕНИ 5и г(,г 5 1 ,г,В 3 бр) МЕ В- х; ) . Блок сравнения предстанляет собой два параллельных восьмиразрядных регистра 19 и 20, выполненных ня миксосхемзх К 555 ТМ 2, выходы которых (соответственно первого и второго регистров) попарно подключены к входа м цифрового вось ми разрядного компаратдра 21, собранного на микросхемах К 555 СП 1, включечных гс двух каскадной схеме. Первый регистр 19 предназначен для хранения текущего значения критерия Х(х - -х,) ; а второй регистр 20 - для хранейия предыдущего значения суммы квадратов отклонений контролируемых параметров г(х,- х, )". Вычисленное н ярифметическом блоке очередное значение суммы квадратов отклонений поступает ня входь 1:- - 1)7 перзого регистра 19. Управление бло. КОМ СРЯВЦЕНИЯ ПРГ)РЗВОДИТСЯ СЦГНЗЛДМ Я ПО- гТУПЯоная.М ДГ 1-ПУПгГ)ВЫХ Лцнйг ВЯ Ц И СИГНаЛЯМИ Ф, Фгн ПОСТупяЮцц ХИ От мы 10 синхронизации. Сигналом Ф: перец,"1- сывается содержимое первого регистра (9 яо второй 20, сигналом Ф) н первый ре. гистр 19 заносится очередное текупРР зпя чение, поступающее из арифметического блд ка 8.Для того, чтобы задать предыдущее значение для первого цикла сравнения, сигналом ), который в исходном состоянии имеет низкий уровень, первый регистр 19 уста нзвлВястс(. В Рдинцчцос состояние. Благо. ДЯРЯ ЭТ(Э). В ГРОВ 7:ЦКЛР СозаНРНЕЯ РРДЫДУЦСР ЗНЯЧЕНИР СТ 2 НОНЦТСЯ МЯКСЦМЯЛЬНО Вдзмджньм чцслг)м ц дэтсмм резльтзт Рр. ного сравнения не яьзыяяет дтклк)ченцн п, дцесса, 1-1 ачцняя с Втсрдго цикл. - . сравнения первый 9 и Втспдй 20 де цстрь :.аР; дег 7 ЖЯТ ЗНягРНИП, Г ИТаНЬ 7 Е С ВгХ)Д;. Я )цр:Е тичРскдГО блд 2 1 а,иклы сг)яяг 71 прд- ДОЛЖЯЮТСЯ 10 гаХ -1 Дг ОКЗ Иг)Р.0,ДМ - паратор 27 ИР дбняружит превы 1;Р с "РкуЩРГС ЗцяРНИ СММЬ (ВЯДГ)3) дн Д"К,Г)КРНИЙцад преддущим.Схема (С сцнхрг)цзя 7 к( (ганг.г. 4) предназнячспгз дли си:хр(7; )3:ц ПЯбд 1: ),)Окя срз ВнРияс хе . измеРця пя ргт сон дд - рябатыняемдгд дбря:,;,соя И, )спз 1;Огд чз эле,РТяк И 1) :;д дается через лдгцгцскЙ эаемент 23 на н.,дд ЛВдцц.дХ) СгСТЧИКЯ а". ЗЫХ )Я 1 КдтдрдГО;10 Д - ключень к нхОдг м депцфрятдря 20.,г и)Явлен:е запуском схемь сцнхрднцзяц;ос" - ЦССггг,а 7 Я 7щ, г)1, Р 7; дцся "и НИИ г СВЯ" И, КСТД)ЫЙ Я ИСХ 07 НДМ СДСТОЯ- нци меет нцз:(цц "роне,11. и;)и этд;,Ог;1- ческий элемет 26 сбрасывает н О сче -чик 24. а логический ле;,Рт 23 О)локцрет ПОСТГГЛвг ЦР И МПГЛ ГСГ) Н С Г ГЕНР";ЭЯТ)172 ЦЯ НХОЛ СгРТ(3. 1 и ЗЯ ПМ КЗ С ХОМЫ СЦ ЦХР ИЗЯ Ц. (фиг. 5 Вьгсо;(цй :р ". 7:ь сцгня.а 5 Г)ткрь- нзет,гОГсскй элсмант 2 7 и )ззре:пяет СгРт Сг 7 РТЧК,7 (г)тссгц Нячнг 7 РТ СЧЕТ ОТ г Л. П и Э. д",3 ЗЫХС,7 аХ ДЧц,)дат 7 пульсов, разнесенных во времени. Импульсы Ф, служат для запуска схем 6 и 7 измерения.Импульсь Ф;, Ф поступают н блок 9 сравненя. Время задержки между импульсами Ф,5 Ф., Ф, должно удовлетворять условию( и (---- )+1,Ттчгде 1нремя измерения параметров обрабатыяземого образца;время обработки н арифметическом блоке;период следования тактовых ими мпх льсов.15 Устройство для электрохимической обработки работает следующим образом.Пд командам, поступающим с групповых лцнц 1 сяязц, управляемый блок 2 питания чесез )РГ(стррмоциц блок 3 ц блок 420переключений пддклдчяе.ся к электрохимической ячейке 5.организуется воспроизведение заданногд режима работы процесса 2 нддц РОВа н иЯ ГтР м пР Ридди чРс КОЙ пОсылки кодов значений управляющего сигнала. Одновременно сигналом с групповой линии 125 связи зяпускяюгся схема 10 синхронизациии блок 9 срянРня. Электр(ческий сигнал с выхода упранляемогд блока 2 питания через ре.цстрируюп;ИЙ 5 лдк 3 ц блок 4 переклю гений прцк.)а )ывается к образцу ц катоду ЭГРКТ)ОХИ М"ЧР;Кдй ячгЙЗ 7. РГИСТ ИруК)- ций блок 3 поряд)Нет опер.-тору следить зяисп"2 ндстьк) рябггь упрянляемс 70 блока 2 и,:тянця. Пяпямс. П сб "ябатынзсмс)го образ 1; кг)чтРдлцРютс.". :КРмг 1 мц 1)г измРснцЙ, я рс СЛ ЬТг "Ы 3) ПС ц гОСТ(ПЯ ЮТ гя 3 ) ф -,7 т г.сс 7 г 1 1 ;,07 Х, К,.)ТДР 7( ВЫЧ 7 С,1 ЯЕТ ТРКХ -7 ЦЕЕ ЗцяцеЦС . ".Ы КЬЗДРЯТОН гсткг 01 РЦ 7 знясн 77 Кд.;г. 7)Г 7,ачлемх зняРпийГ К,дР:( 1 дстхп;Ют 3 0707 г Срзв 7( При дстжг н 1 Ч .; )еа:а, .дгля тскм 7 ее л;я 4 Гчени; сум:,ы кнз.,;тон отклонений 71)сныЦае ППР ТП РС )ТСПСЕ З 7 ЗЧР 11С,ХЫ, г 3 г)2 ая Д:Х ац 7 7 ) . Пгет СОН ОТ ) СебР; Ь . 3 Н,":.ЧР. 7 Й, С ВЫХОД 1 ОГдС;П- цч; г: , Н;д С дк 3 4 г(рК дн- ний пост. пяет .7.я,3(цч образом, прд 45 1.ндлтгя Ряд.",гес;7,. дткгдг 7 Рцс электдхцм:С(ой ячейк; 5 дт управляемого бзокя 2 ь, а Г.п)гГ)с,нд:Р;ци зядяннсГОц есця каче:тся.б)от: блкя 9 срянцечця ц схе;, цзмсеня с н "1)днизцруется ихпхл са".ц, )стм,2 юп 71" сд схРм ы0 сцхр(7- 50 .ИЗЗ 7;ц(сцтял,С 3 -50-),;Ртддя кягодного распьРРня:; с)д Гдто" и;) Гьци фдрмц)мдтся металлэрдяянные у 7 ястк: межсдедцненцц цз55 дсднс -.21 Тзля Т;. Гдлп Ндй 5000 (.,.)лектрдхцсскх способ(н электро)Ите ня дсЭ ГЦЛСЛКд - :; И;ЦЯВРЛРВДЙ КЦ 1 ОТЫ7гиков фоРМИРУют диэлектРическс ю ме)КУ(гс)- НЕЗУЮ ИЗОЛЯЦИЮ На ОСНОВЕ ОКСИДВ тИГсаг Та 05. 1-(апря)кение анодировани" нзм(няется линейно со скоростью 0,2 В/с Пргоцесс ЗаВЕРШастСЯ ИО ДОСтнжЕНИИ За;гИной ОЛ- гц 1 л ны изоляции (2500и со;Оо-и Влгзнн)3 металлизированиого проводника (250 ;м) с 1 ссгедОВЗНИЯ НООВОдЯТСЯ д:Я;1 едложгс 1 ногО и изнест 1 ОгО устройств. испо.ьзсеОго для подгонки пленочных резисторов. г) изВЕСтиом УСТРОйетвс РЕШСИИЕ и 3 ВЕРгс(НИИ электрохимического про;есса прини яа,п;сь ПО ДОСтнжЕНИИ ЗаДаННОй ВЕЛ ИНЬ: СОго тивления, в предложенном п 0 результа там контроля сопротивления металлич кой П,(.НКИ И ТОЛцИНЫ И 3 ОЛЯИИ ИзС,:ОВИ 1 ЪИ НИМИЗЦИИ СЛЕД)Г ЮЦЕГО КРИТЕ)ив (сЧЕ С Гвс.р - (250. р 1"(2500ГДЕ с, - СОПРОТИВЛЕНИЕ (сЕтасЛ:(ЧЕСКОй Л(сКИ, . сМ;Г 1 - то;(ниа изоляции, 3)10;пина из;яии 01 енРВастг;я 1;) р х 1 - татам ИВМЕОСИИс СИКОСГИ ДИЭЛЕКТРИК 1(для Оксида гггл г =:с 2(1;ИГ(ОНс(дв ИВ(.)Хг(0;(И гс.сГсЛ, гигсКой ИГСИКИ, 1".Х 1 Г сс. г 1 с ДИ Э,с. К )1 г( с. с,. 1 5 ИГ(г )ИЭ, ГСК с(ЕС, 5 гге (с 5 НФ,3 КС (1 ЕРИ М(НТ: РО ВОДгг 1)151 1 ")тс И2,100 разцосв)аематн СК(Г( СК(,гСНИС С",5- МЫЫ Ква ДРтов ОТКЛОНЕНИЯ Соп;,)Отвдгс ИЯТаЛЛИЧЕСКОй И.К:(КИ И "ОГ;ЦИН(, с(30 г 5 г:1 0: требс)сс 11 х начении состав,1 яс00.1, :,;га И 3 ВЕГТНОМ ссг(ТРО(СТВЕ ПП(Г(ИВ,2(,(,.);1 1,г,(.;Ожеином. Разброс сопротивления и тол.цс(ы на известйом устройстве со.:гавляет соответственно 1% и (-5%, а на предчоженнос -(-27.," и:-3%.Грименение предлагаемого устройства ( С(ВОЛ яет суцественно повысить качество ,гектрохимической обработки за счет умень- (1:( Ня схг.;(марСй величины отклонения па. ,;, Г(ЕТООВ Обс)абатЫВВЕМОГО Образца ОТ За: НЫХ .,НасЕНИН сС) ройСТВО дЛя ЭЛЕКтрОХИМИЧЕСКОй Обра. б:тКИ, СО (ЕржацЕЕ ГруППОВЫС ЛИНгИИ СВЯЗИ, уг;рВЛяЕМЫй 6 ЛОК Интаиня, рЕГИСтрИруЮцнйб. Ок иерекл очений, электрохимичесй Кс П(срвсО СХЕМ ИзсгЕрЕНИЯ ОЛРК, Ь:( гн, а ГРУПП(ВЫЕ ЛИНИ) СВЯЗ." СОЕДИНЕ, грав,самЫМ бЛОКОМ Питаиня, ВЫХОД ,го ссрез р(гистр(рчопий блок пол ,.,к)ч к 010 ку переключении, которыя сос,:;",и с; ектрохи ической ячейкой, выход Игт(Рой Г, С.ИНЕИ С ПЕРВОЙ СХЕМОЙ ИЗМЕРЕ.:,5 г, Вьгхоз 5).г(Ка спавнениЯ соеДинен с вхс- ". бЛОК ПЕрг КЛЮ-ЕНИй, ОТЛи(аОдЕЕСя тЕМ,е.,ю новь шения кач(ства электроесной;)бработки за счет автоматичес- ,0 "рОЛ 5; ", ПарМЕТООВ ОбрабаТЫВЗ( - с 10 огбгс:(а, Он снабжено 1 х( - -1 схемамис; ег:, .,"(, рифс:тически) блоком, схемои : Хрог 3;(ИИ. 11 рИЧЕМ .Хс - г СХЕМгЫ Измсрск гочень: : электрохимическсй ячеи кг. В хо.г,ы арий истическогц блок соединс(. сс СХ(с 4 МИ ИЗМЕЕНИЙ, а ВЫХод С