Автоматический манипулятор

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 9) (1 25 3 21/ КОМИТЕТ СССР НИЙ И ОТКРЫТИЙ ГОСУДАРСТВЕНН ПО ДЕЛАМ ИЗОБ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ Я наД иче ск им о бо рудов ан и включен ии дв иг ател этог 28 изм пр пе ва ного устро рычажный 3 дается на 8, который ляющих 2сжимая п йство опус йст 0 мещения исполнител ерез винтовой 29 и еханизмы движение пер пус рем игателя каретки ется вдоль напра олзуны сближаютс ру ка аэтом жины,ахватное уст атем подается команда нассеты с заготовками. Дале тся,ват к)ходноивопоорпуснии, П ожную сторону и пе вигателя в обратно том ползуны раздви мещае аправлтся иподним хват иство с кассет ется 5 ил А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидетельство СССРВ 213211, кл. В 25 Т 21/00, 1964.(57) Изобретение относится к электровакуумному и полупроводниковому машиностроению, в частности к механизации и автоматизации процессов загрузки и выгрузки обрабатываемых изделийв оборудовании электронной техники.Целью изобретения является расширение технологических возможностей иповышение производительности за счетобеспечения работ с различным техновигатель 28 включается, его ал начинает вращаться в про1 13233Изобретение относится к электровакуумному и полупроводниковому машиностроению, в частности к механизациии автоматизации процессов загрузки ивыгрузки обрабатываемых изделий воборудовании электронной техники.Цель изобретения - расширение технологических возможностей и повышениепроизводительности за счет обеспечения работы с различным технологическим оборудованием, например камерамии расположенными внутри них многорядными ваннами.На фиг.1 изображен автоматическийманипулятор, общий вид; на фиг.2 - 15разрез А-А на фиг.1, на фиг,3 - разрез Б-Б на фиг.2, на фиг.4 - разрезВ-В на фиг.2; на фиг.5 - механизмпривода каретки.Автоматический манипулятор для 20герметЪиного пространства состоит изтранспортной тележки 1, установленнойна направляющих 2, смонтированных натраверсе 3 посредством кронштейнов 4,25Траверса 3 смонтирована на потолкерабочей камеры, образованной герметичными перегородками 5. Положениенаправляющих 2 можно регулировать повысоте в зависимости от обслуживаемо- З 0го технологического оборудования спомощью их перезакрепления в отверстиях кронштейнов 4 с помощью винтов6 и 7.На дополнительно введенных направляющих тележки 1 установлена каретка8 с возможностью перемещения в направлении перпендикулярном перемещениютележки 1. Каретка 8 выполнена в видерамы, включающей две параллельные направляющие 9, жестко связанные однас другой, и ползуны О, установленныена этих направляющих,На направляющих 9 выполнены прорези, в которых установлены пружины11 с возможностью взаимодействия сползунами 10. На последних смонтированы ролики 12, оси которых шарнирносвязаны с рычагами 13 исполнительногоустройства 14, выполненного в видемногократного параллеграммного механизма, несущего рабочий орган, например захватное устройство 15. Последнее может быть выполнено в виде крюкалибо механизма .с электромагнитнымприводом.На тележке 1 по обе ее стороны установлены три ролика 1 б, взаимодействующие с направляющей 2, и четыре 80 2оси, на каждой из которых закреплено по два ролика 17 и 18 передачи с гибкой связью. Ролики 17 взаимодействуют с направляющими 9 каретки 8, а ролики 18 кинематически связаны посредством передачи с гибкой связью с приводом перемещения каретки 8.Привод перемещения тележки 1 состоит из двигателя 19, смонтированного на направляющей 2 траверсы 3 вне ра - бочей эоны камеры, на выходном валу которого закреплен приводной ролик 20, выполненный в виде барабана с напрессованными штырями и связанный посредством гибкой ленты 21 с натяжными роликами 22. При этом один конец гибкой ленты 21 жестко закреплен на те-, лежке 1, а другой закреплен посредством пружины 23. Регулировка натяжения гибкой ленты 21 осуществляется с помощью натяжного устройства 24.Привод перемещения каретки 8 и исполнительного устройства 14 состоит иэ двигателя 25, корпус которого ус-, тановлен на направляющей 2 с возможностью перемещения вдоль нее, а на выходном валу смонтирован приводной ролик 26, выполненный в виде барабана с напрессованными штырями и связанный с роликами 18 тележки 1 и роликами 12 каретки 8 гибкой лентой 27, концы ко,торой закреплены на одном из кронштейнов 4, а также двигателя 28, который посредством винтового 29 и рычажного 30 механизмов связан с корпусом привода каретки 8.Гибкие ленты 21 и 27 выполнены с перфорацией по всей длине с числом строк, соответствующим числу команд, определяющих местоположение каретки 8 и исполнительного устройства 14. Вдоль трассы протяжки гибких перфорированных лент 21 и 27 по обе стороны расположены пять датчиков 31 контроля, которые представляют собой спаренные осветитель и фотоприемник и являются датчиками перемещения тележки 1, каретки 8 и исполнительного устройства 14. Гибкие перфорированные ленты 21 и 27 выполнены из токопроводящего материала и изолируется от каретки и тележки. Автоматический манипулятор рабо- . тает следующим образом.Сформированная для обработки партия заготовок в специальных многоместных кассетах подается через шлюз рабочей камеры на загрузочную позицию3 13233 автоматического манипулятора (не показано). С пульта управления подается команда на отработку заданного технологического процесса. Манипулятор в исходном положении находится над загрузочной позицией. Включается двигатель 28 механизма перемещения и через винтовой 29 и рычажный 30 механизмы движение передается на корпус двигателя 25 каретки 8, который перемещается вдоль направляющих 2 влево по чертежу. При этом ползуны 10 сближаются сжимая пружины 11 и захватное устройство 15 опускается. Затем по,дается команда на захват кассеты с 15 заготовками. Далее двигатель 28 включается, его выходной вал начинает вращаться в противоположную сторону и перемещает корпус двигателя 25 вправо по чертежу. При этом ползуны 201 О раздвигаются и захватное устройство 15 с кассетой поднимается.После достижения захватным устройством 15 необходимого по высоте уровня, двигатель 28 отключается и пода ется команда на включение двигателя19 или 25 в зависимости от маршрута прохождения технологических ванн, расположенных параллельными рядами. Для перемещения тележки 1 включается 30 двигатель 19 и начинает вращаться приводной ролик 20Последний посредством гибкой ленты 21 приводит в движение тележку 1, которая перемещается по направляющим 2 посредством роликов 16 согласно заданной программы и останавливается над рабочей позицией необходимой ванны. При этом двигатель 19 тележки 1 отключается и включается привод перемещения испол нительного устройства 14Положение тележки 1 контролируется с помощью датчика 31 контроля по числу световых импульсов. Датчик 31 кон троля установлен на кронштейне 4. Захватное устройство 15 с кассетой опускается в рабочий объем технологической ванны. Происходит расщепление захватного устройства 15 с кассетой. После отработки техпроцеСса захватного устройства 15 захватывается кассета с заготовками и переносится в следующую технологическую ванну.55Для перемещения исполнительногоустройства 14 в направлении, перпендикулярном перемещению тележки 1, включается двигатель 25 каретки 8 и 80 4посредством гибкой ленты 2.7 перемещает каретку 8.Предлагаемый манипулятор имеет возможность работать с технологическими ваннами, расположенными параллельно в несколько рядов в любой последовательности. При этом позиции загрузки и выгрузки могут быть либо совмещены, либо, расположены с двух сторон рабочей зоны манипулятора.формула изобретения1. Автоматический манипулятор, содержащий траверсу, подвешенную к потолку камеры, приводную тележку, перемещаемую по направляющей, смонтированной на траверсе, и несущую исполнительное устройство с рабочим органом, а также привод перемещения исполнительного устройства и привод перемещения тележки, включающие индивидуальные двигатели, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью расширения технологических воэможностей иповышения производительности за счет обеспечения работы с различным технологическим оборудованием, он снабжен кареткой с ползунами, при этом каретка выполнена в виде рамы, образованной двумя параллельными направляющими, жестко связанными одна с другой, и установленной в дополнительно введенных направляющих тележки в плоскости, перпендикулярной плоскости перемещения тележки, при этом ползуны установлены подпружиненно на этих направляющих каретки, причем исполни- тельное устройство выполнено в виде многократного параллелограммного механизма, а привод перемещения каретки и исполнительного устройства включает передачу с гибкой связью, ролики ко" торой шарнирно закреплены соответственно на каретке и на ползунах, один из роликов этой передачи с гибкой связью жестко связан с выходным валом двигателя привода перемещения каретки, корпус которого установлен с возможностью перемещения на направляющей траверсы и кинематически связан с выходным валом двигателя привода перемещения исполнительного устройства.2. Манипулятор по п.1, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что направляющая траверсы установлена с возможностью регулировочного перемещения по высоте.3. Манипулятор по п.1, о т л и ч аю щ и й с я тем, что он снабжен системой числового программного управления, включающей осветители и фотоэлементы, а на ленте выполнена перфорация.1323380 Составитель И.БакулинаТехред Л.Олийнык Редактор И,Касарда Корректор А. Ильин Тираж 953 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5