Способ подгонки цилиндрических пленочных резисторов

)" г . 3.гм, .ЕН СССР ототип). ИЛИНДРИВ,включа ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И О ОПИСАНИЕ ИЗОБ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56 ) 1, Патент СССР И 5741кл. Н О 1 С 17/22, опублик,2, Авторское свидетельспо заявке И 2709416/18-21,кл. Н 01 С 7/00, 1979 (пр(54)(57) спосоБ подгонки цЧЕСКИХ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРО,ЯО 103 970 А ющии нарезку спиральнои изолирующеиканавки с зоной разрыва и осуществление дополнительного реза о т л ич а ю щ и й с я тем, что с цельюупрощения процесса и повышения точности подгонки, конец первой и начало второй половин реза располагают на одинаковом расстоянии от центра резистора в диаметрально противоположных точках и дополнительныйрез осуществляют в середине эоныразрыва параллельно кромке резистора1 1038970Изобретение относится к радио- ного реза. Дополнительные резы выпол,электронике и может найти при няют путем последовательного точечменение при производстве радиоком- Ного удаления пленочного резистивногопонентов, в частности при произ- слоя в зоне с максимальной плотводстве прецизионных цилиндричес ностью линий тока 1 2 .ких тонкопленочных резисторов,. Недостатками известного способаИзвестен способ подгонки тонко- являются необходимость ручной орипленочных резисторов, включающий ентации резистора с целью опренарезку основной изолирующей спираль деления местоположения эоны подной канавки, прерывающейся в сере гонки,а также воэможность только .ручдине тела резистора. Согласно дан- нои подгонки с визуальным кодтроному способу два лазернцх луча ре- лем оператором локализации каждого " жут поверхность проводящего слоя ре- испаряемого участка. Кроме того, отзистора из противоположных направле- сутствие указания на местоположениений 1 Д, 15 каждой последующей точки по отНедостатком указанного способа яв- ношению к предыдущей сводит точляется значительное сгущение линий , ность подгонки к субъективному восптока в местах окончания встречно риятию оператора, В итоге операция нарезанных спиралей, и, как следст- подгонки является малопроизводительвие,этого, перегрев резистора при им ной а точность подгонки недостаточпульсной нагрузке, приводящей к на.развитию постепенного отказа. Цель изобретения " упрощение проНедостатком:является также относи", цесса и повышение точности подгонтельно .низкая точность подгонки, кото- ки цилиндрических резисторов. рая завиСит от градиента -нараста Указанная цель, обеспечивается темния сопротивления и чувствительности что согласно способу подгонки циустройства, измеряющего отклонение линдрических пленочных резисторов, величины сопротивления подгоняемого включающему нарезку спиральной изорезистора от программируемого зна-лирующей канавки с зоной разрыва и ченияьЕсли разрешающая способность З 0 осуществление дополнительного реизмерительного устройства, выражен- за, конец первой и начало второй ная в относительном приращении сопро- половин реза располагают на одинативления больше, чем градиент нарас" ковом .расстоянии от центра резистотания сопротивления, то при прочих , ра в диаметрально противопоаожжных равных условиях погрешность под" точках и дополнительный рез осуществгонки пропорциональна величине при" ляет в середине эоны разрыва паралращения сопротивления при испаре" лельно кромке резистора. нии одного точечного участка.реэис- . На фиг. 1 изображено взаимноеютивнои пленки,При нарезании спираль расположение резов; на фиг. 2 - .экси инои иэолируюшеи канавки одновре- , периментально полученные кривые заменннно с двух сторой градиент на" висимости приращения сопротивления4 Ср сопротивления в момежт при трех различных углах повороастания содЕокончания подгонки практически . тв окончания одной и начала другой вдвое превышает значение, соответст- половин спиралей относительно продоль вующее случаю одностороняего нареза- ной оси резистора; на фиг,3 - принния. Ин я. И, как следствие.,этого, погреш-. ципиальная схема устройства, реали 45ность подгонки в силу указанной зующего предлагаемый способ на фиг 4 и ичины вв еричины всегда больше погрешности гистограммы распределения реэистопри" односторонней спиральной нарез" ров по относительным отклонениям в ке, фкоторая для прецизионных тонко- сравнении с базовым объектом, пленочных цилиндрических резисторовСогласно предлагаемому способу9 В 0, 25 .составляет 0,05-0153,. первоначально нарезают первую половиНаиболееиболее близким к предлагаемо- ну спиральной йзолирующей канавки му по технической сущности.и достига- таким образом, что она оканчиваетемому результату является способ ся на фиксированном расстоянии д подгонки цилиндрических пленочных 55 от.,ередины .резистора, где дР= резисторов, вклюнаююий нарезку спи. :( ) Е , где а - шаг спираль- ральной изолирующей канавки с зоной ной нарезки. Затем нарезают вторую разрыва и осуществление дополнитель- половину спирали, отступив вправо от3 10389 через вентиль .ИЛИ 11 прерывает излучение лазера 12. При этом на второй вход вентиля ИЛИ 11 поступает сигнал с блока 13 измерения сопротивления. Вращение и перемещение резистора осу. ществляется с помощью электропривода 11, Таким образом, устройство реализует поворот начала второй части тела резистора по отношению к концу первой части спирали на угол (2 К+1 )Л, 10 где К - любое натуральное число (0,1, 2,). Причем первая и вторая части расположены симметрично по отношению к середине резистора (точка ).После нарезки спиральной канавки 15 проводят необходимые технологические операции по стабилизации величины соп. ротивления резистора. Первоначально (при спиральной нарезке) величина сопротивления достигается меньше но-. 20 минальной. Этот допуск определяется технологией производства резисторов и для прецизионных резисторов не превышает 1 Ф, Окончательно точная подгонка осуществляется дополнитель ным реэом, как показано на фиг.1. 70Использование предлагаемого способа в сравнении с базовым объектом обеспечивает повышение точности подгонки в четыре раза (точность подгонки составляет й 0,05/); возможность автоматизации процесса подгонки без предварительного ориентирования резистора при погрешности 0,053, которая обеспечивается симметричным расположением дополнительного подгоночного реза в середине зоны разрыва резистора. В силу этого отпадает необходимость предварительного ориентирования резистора и повышается производительность./С помощью предлагаемого способа создают прогрессивную конФигурацию спиральной нарезки, обеспечивающей последующую подгонку прецизионньх тонкопленочных цилиндрических резисторов с допускаемым отклонением значения величины сопротивления от номинальной до 0,01/ с возможностью полной автоматизации процесса подгонки.4038970,ЩУ ФЬг Составитель И. ЩербаковаТехред В,Далекорей Коррек Редактор Н.Кеше Зимокосов ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная,аказ 6236/57 Тираж 703 Подпи ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/