Способ измерения поверхностногосопротивления фотокатода

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 1 и 843 О 26(23) Приоритет СССР по делам нвабретений и открытийДата опубликования описания 30.06. 81 72) Авторы изобретения Ф. Краснов и Л, А. Туровски тститут автоматики и электрометрии Сибирского Отделения АН СССР(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ФОТОКАТОДАсстояние к фотокатоднои разитного влияния алюми ленке и евого п Изобретение относится к электри-ческим измерениям поверхностного сопротивления тонких пленок, исполь- зуемых в качестве полупрозрачных фотокатодов элекронно-оптических преобразователей (ЭОП) с прямым переносом изображения.Известен способ измерения сопротивления тонкого электропроводящего слоя на диэлектрической основе с помощью емкостного датчика, входящего в колебательный контур генератора 111. При изменении величины измеряемого сопротивления изменяются активные потери в контуре, а следовательно, амплитуда и частота собственных коле баний.Однако такой способ не может быть использован для измерения поверхностного сопротивления фотокатодной пленки непосредственно в изготовленных ЭОП с прямым переносом изображения из-за невозможности приближения измерительного датчика на необходимое крытия люминофора.Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является способизмерения поверхностного сопротивления .фотокатода, закпючающийся в измерении тока, протекающего по пленкефотокатода при создании разности по Отенциалов на поверхности пленки 121.Недостаток известного способа состоит в том, что измерение проводитсяна специально изготовленной структурекоторая в дальнейшем уже не может быт 15использована в качестве фотокатода,Цель изобретения - определениединамического диапазона ЭОП с прямымпереносом изображения.Поставленная цель достигается тем,что в способе измерения поверхностно"го сопротивления фотокатода, заключающемся в измерении тока, протекающего по пленке фотокатода при создании разности потенциалов на поверх3 84302 ности пленки, регистрируют выходнои электрический сигнал от сфокусированного, направленного в центр фотокатода, промодулированного по амплитуде луча света, затем равномерно освещают фоточувствительную область фотокатода, увеличивают интенсивность равномерной освещенности фотокатода до исчезновения выходного электричес. кого сигнала от промодулированного 10 по амплитуде и направленного в центр фотокатода луча света, после чего измеряют полный постоянный ток прибора, а поверхностное сопротивление вычисляют по Формуле 15 где я - поверхностное сопротивлениеЯФотокатода;О - напряжение, приложенное кприбору 13 - постоянный фототок прибора;ФчД - ток прибора, ограниченныиоообъемным зарядом при отсутствии перепада напряжения вдольфотокатода и приложенном напряжении О,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1Авторское свидетельство СССРВ 467300, кл. Й 01 1 1975.2. Бутслов Г 1. М. и др. Некоторыевопросы стабильности работы электрончно-оптических преобразователеи. - Электронная техника", сер. "Электроннолунчевые и Фотоэлектронные приборы,1968, вып, 5, с. 236-245 (прототип),20 г е р - поверхностное сопротивлениеФотокатода;О - напряжение, приложенное кприборупостоянный фототок прибофра;,1 - ток прибора, ограниченныйОбобъемным зарядом при отсутствии перепада напряжениявдоль Фотокатода и приложенном напряжении О,На чертеже представлена схема устройства для измерения поверхностного сопротивления предлагаемым способом.устройство содержит электронно оптический преобразОватель 1 с фото- катодом 2, источник (лазер) 3 сфокусированного светового потока 4, модулятор 5, источник 6 напряжения, блок 7 регистрации и равномерный по - 40 щади Фотокатода световои поток 8Способ измерения поверхностного сопротивления Фотокатода ЭОП с прямым переносом изображения основан на уменьшении напряжения мЕжду централь 45 ной областью Фотокатода и анодомза счет протекания тока по пленке Фотокатода при ее равномерном освещении. Причем при некоторой равномерной освещенности Фототок в центральной области прибора ограничивается объемным зарядом. При изменении поверхностного сопро. тивления с ,Р 4, 1 ООм/б для упро 3щения измерений Равномерную засветку фотокатода лучше проводить световыми импульсами с большой скважностью и с частотой модуляции амплитуды, много меньшей частоты модуляции сфоку 6 4сированного, направленного в центрфотокатода пучка света.Предлагаемый способ определенияповерхностного сопротивления фотокатода позволяет определить верхнююграницу динамического диапазона прибора, зависящую от поверхностногосопротивления в уже изготовленномприборе,Формула изобретенияСпособ измерения поверхностногосопротивления фотокатода, заключающийся в измерении тока, протекающегопо пленке фотокатода при созданииразности потенциалов на поверхностипленки, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью определения динамического диапазона электронно-оптическогопреобразователя с прямым переносомизображения; регистрируют выходнойэлектрический сигнал от сфокусированного, направленного в центр Фотокатода, промодулированного по амплитуделучасвета, затем равномерно освещают фоточувствительную область Фотокатода, увеличивают интенсивностьравномерной освещенности Фотокатодадо исчезновения выходного электрического сигнала от промодулированного поамплитуде и направленного в центр фотокатода луча света, после чего измеряют полный постоянный ток прибора, а поверхностное сопротивление вычисляют по ФормулеТираж 784 ПодписноеГосударственного комитета СССРелам .изобретенийи .открытийМоск ва, М(-35, Раушская наб., д. 4/5Патент , г. Ужгород, ул. Проектная