Устройство для транспортирования изделий

Союз СоветскихСоцкалистнческивРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(5)М. К Н 01 . 21 В 65 6 17 ударстееииый иомите 23) риггритет лам изобретенийи открытий публиковано 15.10,80 Бюллетень3Дата опубликования описания 15.10.80 53) УДК 621.382. .3.002.2 (088,8)(54) УСТРОЙСТВО Лг)Я ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ ИЗЛЕЙИ технологическому Изобретение относ с их пошустройстдеталей,качества,ор дованию дня производства изделии ради хники ивах дляиковых и жет быть использовано в устроичкостной обработки полупровод. гдстин, например очистки трдзвука кремниевых по приме.жек пос пением ул эк сплуатаобрдботк ройство щественн зделии - достигается тем, что уст делий преим стио устройство жидкостнои я транспортированияпри жидкостной обра ботки полупроводниковых пластин, содержащееванну, внутри которой находятся держателипластин с приводом вращения 1. ботке полупр е расположен. риводным ме. утый цепной В этом устроистве не предусмотрено поштучое перемещеиис обрабатываемых деталей в снабже ванне ноложенныл рнирно эакр от15Также известно устройство для жидкостной обработки изделий, содержащее ванну и замкнутый цепной конвейер с держателями иэделий 2Недостатком этого устройства является то, что обработка деталей производится в держате-.20 лях, имеющих коробчатую конструкцию, в которую здгружднгтся гунны деталей, что ухудшает качество обработки изделий по сравнению ным приводПричем ме и ы криволи ми на участнаправляющиразмещены зоны загрузки к зоне выгрузки учной обработкой. Кроме того, в затруднены загрузка и выгрузкао снижает его эксплуатационные ль изобретения - повышение удобст устроиства и повышение качсств одниковых пластин, содержашгй на станине и связанный с ханизмом горизонтальныи замкт конвейер с держателями пластит дополнительным конвейером, рас рядом с упомянутым, рамой, ша ленной на станине, и допогшител ным механизмом поворота ралть оба конвейера смонтированы на иными копирами, размегценньповорота цепи конвейера, и для держателей, а держателионвейерах попарно с образовани10 50 3 771ем каждой парой держателей гнезда для разме.щения пластин на сопрягающихся ветвях конвейера, каждый держатель шарнирно закрепленна цепи конвейера и снабжен цилиндрическимпальцем для взаимодействия с копиром, 5Копиры, расположенные ца участке выгруз.ки, пластин, выполнены с радиусом кривизны,равным радиусу поворота цепи конвейера, причем центр радиуса кривизны этих коцировсмещен против хода конвейера на величинурасстояния между центром оси шарнирного за.крепления держателя и его пальца.На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 показан разрезА-А на фиг, 1 (конвейеры); на фиг, 3 - разрезБ-Б на фиг, 1.Устройство содержит станину с ванной 1, накоторой шарнирно закреплена рама 2, кицематически связанная с приводом 3 ее поворота. 2 оНа раме смонтированы два идентичных цепныхкоцвейера 4 и 5 (фиг. 2) с держателями 6,которые шарнирно связаны с цепью конвейераосями 7 (фиг. 1). На прямолинейных участках25конвейеров расположены направляющие 8 дляперемещения держателей, а ца участках поворота - криволинейные копиры 9 - 12 с канавками,Держатели снабжены цилиндрическими пальцами 13, которые входят в канавки копиров зопа участках поворота конвейера. Радиус кривизны канавок копиров 9 и 12, находящихся научастке выгрузки пластин, равен радиусу пово.рота цепи конвейера, по которому перемешается ось 7 шарнирного закрепления держателя б,причем центр радиуса канавок копиров 9 и 12смещен против направления движения конвейера на величину расстояния между осью 7 шарнирного закрепления держателя 6 и пальцем 134 Оэтого держателя,конвейеры приводятся в движение приводным механизмом 14 через систему шестерен 15и 16 и приводные звездочки 17. Для сицхро.цизации работы узлов устройства служат фотодатчик 18 и блок управления 19. Держателиб размещены на цепях конвейера так, что тарыдержателей разноименных конвейеров образуютгнезда для размещения обрабатываемых пластин 20 (фиг. 3).Устройство работает следующим образом,При загрузке пластины 20 в гнездо, образованное держателями 6, фотодатчик 18 выдаетсигнал на блок управления 19, который включает привод 3 поворота рамы 2. Рама с уста 55 767 4цовлеццыми на ней конвейерами 4 и 5 подни.мается цад ванной 1. Затем включается привод.ной механизм 14 и конвейеры перел 1 ещаются на один шаг, При этом деталь, находящаяся ца позиции выгрузки, выпадает из гнезда, так как держатели расходятся в стороны на участке поворота цепей конвейера, Гак как центры радиусов поворота оси 7 и пальца 13 смещены на величину расстояния между осью и пальцем, то держатели расходятся, оставаясь параллельными сами себе на участке выгрузки,что обеспечивает наиболее благоприятные условия для выгрузки пластин. После этого рама с конвейерами опускается и пластины погружаются в жидкость, находящуюся в ванне. Затем цикл повторяется. Формула изобретения 1. Устройство для транспортирования изделий,преимущественно при жидкостной обработкеполупроводниковых пластин, содержащее расположенный ца станине и связанный с приводциммеханизмом горизонтальный замкнутый цепнойконвейер с держателями пластин, о т л и ч аю ш е е с я тем, что, с целью повышенияудобства эксплуатации и повышения качестваобработки изделий, оцо снабжено дополнительным конвейером, расположенным рядом с основным, рамой, шарнирно закрепленной настанице, и дополнительным приводным механизмом поворота рамы, причем оба конвейераразмещены ца раме и снабжены криволинейными коцирами, размещенными на участках поворота цепи конвейера, и нйправляюшими длядержателейа держатели размещены на конвейерах попарно с образованием каждой паройдержателей гнезда для размещения пластинца. сопрягающихся ветвях конвейера, каждыйдержатель шарнирно закреплен на цепи конвеейера и снабжен цилиндрическим пальцем длявзаимодействия с копиром.2, Устройство по и. 1, о т ли ч а ю ш ее с я тем, что копиры расположеннЫе цаучастке выгрузки пластиц, выполнены с радиусом кривизны, равным радиусу поворота цепиконвейера; причем центр радиуса кривизныэтих копиров смещен против хода конвейерана величину расстояния между центром осишарнирного закрепления держателя и его пальца,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР 9 419047,кл. С 23 6 3/00, 30.08,74.2, Авторское свидетельство СССР Р 176154,кл, С 23 С 3/00, 1965 (прототип).771767 О Составитель Г. ПадучинРедактор Т. Юрчикова Техред Н. Бабурка Корректор О, Билак аа ССС каз 6 4 одпис И Го оми и открытиаушская н иб., д. 4/5 лам иэо Москва,Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная,/66 ВН по 11303Тираж рственно етений Ж, Р