Суспензия для магнитной маркировки

,77176 Республ ОБРЕТЕНИЯ СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М. Кд. о 06.10,78 (21) 2671062/18-25ением заявки,% 0121/0223 С 3/04 Государстваннын к ет до делам нз овано 15.10.80 Бюллетеньпубликования описания 15.10.80(54) СУСПЕНЗИЯ сть объясняется темжидкой фазы суспензи о удельная плотность ниже удельнои плот. рма частиц твердой удержания во взве 1,9 Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и может быть использовано для магнитной маркировки преимущественно при5 разбраковке кристаллов полупроводниковых структур на пластине.Известна суспензия, обладающая магнитными свойствами, применяемая для маркировки за. бракованных полупроводниковых структур 111. Она содержит окись железа для ферритов ТУб - 09 - 563 - 70, шеллак чешуйчатый ТУ 6 - 09 -- 503 - 70 или шеллак импортный У 38511/4 и спирт бензиловый ГОСТ 8751 - 72, Компоненты взяты в следующих соотношениях,(вес,ч,г5Бензиловый спирт 26 (или 25 мл)Шеллак 10Окись железа дляферрнтов 50Недостатками известной суспензии являются низкая агрегатная устойчивость и небольшой срок годности 15 - 16 дней от момента ее приготовления при условии хранения в герметично закрытой посуде. Агрегатная неустойчи. ности окиси железа, а фофазы не обеспечивает ихщенном состоянии..Кроме того, через 5 - 6 ч после заправки суспензии в маркировочное устройство бензиловый спирт испаряется, что вызывает необходимость частой промывки маркировочных устройств с последующим заполнением их свежей суспензиеи и настройкой установки.Известная суспензия для магнитной маркировки (21, содержащая глицерин, дистиллирован ный по ГОСТ 6824 - 76, глюкозу по ГОСТ 6038 - 74, железокобальтовьтй феррит тип 2 по ТУ МХЗ.112-70 и гамма-окись железа иголь. чатую тип 6 (или тил 12) по ТУб - 17-599 - 74 при следующем соотношении компонентов, вес.ч.:Глицерин 12Глюкоза 7Железо-кобальтовыйферрит Т 2 5,7Гамма - окись железапня.П р н м с р. Приготовляют мапщтцую суспсцзию, которая содержи г,веся.:Глицерин 10 Глюкозу 5 Фталсвый илц малеицовый ангидрид 3501 амма-окись железа иголь.чатал 4Карбоцильцос железо 18,Приготовление проводят в два этапа.Сначала 1 эаство 1 яют в глицерине глюкозу и фталевыи или малеиновый ангидрид при температуре 140- 180 С, а после остывация раствор переливают в фарфоровую ступку и в цее поочередно добавляют при непрерывном растирании гамма. Эта суспензия обладает агрегатной устойчпвольв и имеет неограниченный срок храненияАгрегатная устойчивость обеспечивается игольчатой структурой гамма -окиси железа. Этииголки в жидкой фазе суспензии (раствореглюкозы в глицерине) образуют мелкоячеистыйкаркас, не подверженный выпадению в осадок,Ячейки каркаса заполняются железо-кобальтовымферритом Т 2, увеличивая концентрацию ферромагнетика.Недостатком суспецзии является высокаястепень адгезии к поверхности кремния послесушки. Вследствие этого при ломке полупроводниковой пластины на кристаллы на жесткомосновании наблюдаются случаи отделения мар. 3керных знаков от поверхности кристалла,Кроме того, известная суспензия имеет невысокую концент 1 эацию фер)эома 3 нитных состав.ляющих (7,6 фсрромагцетиков на 7 г нелету.чих компонентов, или 1,08:1), что снижаетподъемную силу при сепарации кристалловс помощью магнита.Пель изобретения - повышение адгезиоццойспособцости суспсцзии и улучшение ее мапштныхсвойств. 2511 осгавлеццал цель достигается тем, что суспензия допозпгительцо содержит фталевьш илималсиновый ангидрид и карбонильное железоцри следующем соотношении компонентов,вес.ч.: 30ГлицеринГлюкозаФталевый или малсицовый ангидрид 2 - 6Гамма-окись железа35игольчатая 2 - 5Карбоцильцое железо 9 - 2 /Сушцость изобретения заключается в том,что введение фталевого С 6114(СО) зО илималсинового Сз 11 (СО) О ангидрида и карбоцимьцого железа обеспечило высокие адгезиоцные свойствасуспсцлщ, улучшило ее мапгицые свойства црц неограниченном сроке храцеокись железа игольчатую и карбглпгльцос железо,В предложенной суспензия концентрацияферромагнитных компонентов цо отношениюк нелетучим немагцитным компонентам составляет в предельном случае 7:1 (32:4,5) против1,4: (35:25) для известной сусцецзии.В результате эксперимента. бьши выбраныпредельные концентрации компонентов магнитной суспензии по следуюшим показателям.При содержании глюкозы в суспензии менее3 вес.ч. снижается вязкость жидкой фазы суспензии, что приводит к расслоению суспензиипри хранении и повышенному растеканию маркерного знака на полупроводниковой структуре. При концентрации более 6 вес.ч, увеличи.вается вязкость, что затрудняет нанесениемаркерцых знаков,При содержании фталевого или малсицовогоангидрида менее 2 веся. снижается эффективность адгезии, а при содержании более 6 вес.чувеличивается растекаемость маркерного знаказа пределы структуры.В случае содермсация гамма - окиси железаменее 2 вес,ч. теряется агрегатная устойчивостьи выпадает в осадок карбонильцое железо, апри содержании более 5 веся. повышаетсявязкость без заметного изменения магнитныхсвойств.Концентрация железа менее 9 всся, уменьшает подъемную силу при использовании магнитадо уровня известной суспецзии, а цри концентрации более 27 вес.ч. повышается вязкостьсуспецзии, затрудняется нанесение маркерцыхзцаков и понижается прочность маркернойметки, При приготовлении суспензии рекомендует.сяСс увеличением количества фталсвого ангидрида уменьшить количество глюкозы:количество карбонильцого железа согласовать с размером маркерной точки, размером кристалла и диаметром маркерной иглы.При необходимости можно повысить оптическую контрастность маркерцгях знаков путем введения в предложенную суспсцзию цветового наполцитсля, например алюминиевой пудры, в количестве 0,5 - 1 вес.ч.НастояШую суспснзию используют цля зарядки маркировочцых устройств автоматичес. ких зондовых установок. Дяя закрепления марксрных знаков ца структурах полупроводниковые пластины выдерживают ца возлухе в течение 30.40 миц при температуре 140. - 180 С.Суспензия имеет неограниченный срок хране. ция в закргятой посуде, при этом обладает повышенной адгсзионцой способностью и улу ь шенными магнитными свойствами.771768 2 - б 1 а Составитель Н. ЯрмолюкТехред М. Петко Корректор Н, Стец Редактор Т. Орловская Тираж 844 ПодписноеИ 11 ИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушскзя наб д. 4/5 Заказ 6709/66 Филиал НПЛ "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Использование суспензии обеспечивает надежное и быстрое удаление забракованных структур после разлома полупроводниковых пластин на кристаллы. Магнитная суспензия может быть использована для маркировки любых изделий из немагнитных материалов.Использование магнитной суспензии в промышленности позволяет повысить надежность работы маркерных устройств. Формула изобретения Суспензия для магнитной маркировки, содер. жащая глицерин, глюкозу и гамма. окись железаигольчатую,отличаюшаяся тем, что с целью повышения адгезионной способности и улучшения магнитных свойств, она дополнительно содержит фталевый или малснновый ангидрид н карбоннльное железо прй следующем соотношении компонентов. вес,ч.:Глицерин 95 - 10,5 Глюкоза 3 - 6 Фталевый или маленновыи ангидридГамма- окись железаигольчатая 2 - 5Карбонильное железо 9 - 7Источники информации,принятые во внимание при зкспертизе1. Технологическая карта 190.028.105,Киев.2. Авторское свидетельство СССР И 550911,кл. Н 01 Н 23/54, 1975 (прототип).